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YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

YS/T 15-2015 Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数：6页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 15-2015
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 金属物理性能试验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040 金属材料试验
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围为1 μm～100 μm。

发布历史

文前页预览

YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法-第1页
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法-第2页
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法-第3页
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法-第4页

研制信息

起草单位：
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：
马林宝、杨帆、葛华、孙燕、徐新华
出版信息：
页数：6页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.040

H21

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST152015

代替/—

YST151991

硅外延层和扩散层厚度测定

磨角染色法

Testmethodforthicknessofeitaxiallaersanddiffusedlaers

pyy

banlelastain

ygp

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和国有色金属

行业标准

硅外延层和扩散层厚度测定

磨角染色法

/—

YST152015

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号()

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北京市西城区三里河北街号()

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    GB/T 1550
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    现行
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    被代替
    GB/T 14146
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    现行
    GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
    被代替
    GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法
    被代替
    GB/T 14264
    GB/T 14264-2024 半导体材料术语
    现行
    GB/T 14264-1993 半导体材料术语
    被代替
    GB/T 14264-2009 半导体材料术语
    被代替
    GB/T 14847
    GB/T 14847-2025 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法
    现行
    GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
    被代替
    GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
    被代替
    替代以下标准
    YS/T 15-1991
    YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
    废止

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