YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
YS/T 15-2015 Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数：6页
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格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 15-2015
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围为1 μm～100 μm。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围为1 μm～100 μm。
发布历史
-
1991年04月
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
- 起草人：
- 马林宝、杨帆、葛华、孙燕、徐新华
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
H21
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST152015
代替/—
YST151991
硅外延层和扩散层厚度测定
磨角染色法
Testmethodforthicknessofeitaxiallaersanddiffusedlaers
pyy
banlelastain
ygp
2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
中华人民共和国有色金属
行业标准
硅外延层和扩散层厚度测定
磨角染色法
/—
YST152015
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