GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

ICS77.040

CCSH21

中华人民共和国国家标准

/—

GBT141462021

代替/—

GBT141462009

硅外延层载流子浓度的测试

电容电压法

-

—

Testmethodforcarrierconcentrationofsiliconeitaxiallaers

py

Caacitance-voltaemethod

pg

2021-05-21发布2021-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT141462021

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《—》,

本文件代替GBT141462009硅外延层载流子浓度测定汞探针电容电压法与

/—,,:

GBT141462009相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

),(,);

更改了本文件的范围包括规定的内容和适用范围见第章年版的第章

a120091

)/,/、/、/(

b删除了规范性引用文件中的GBT1552增加了GBT1551GBT6624GBT14264见第2

章,年版的第章);

20092

)();

增加了术语和定义见第章

c3

)(,);

更改了试验条件的要求见第章年版的

d420096.2

),(