适用范围：主要技术内容:1范围本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。2引用文件本规范引用了下列文件：GJB 7363—2011 空间等离子体环境效应动态试验方法凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。3术语和定义GJB 7363—2011界定的及以下术语和定义适用于本规范。3.1等离子体 plasma等离子体由大量带电粒子（正离子、负电子）和中性粒子所组成，常被视为物质的第四态。在宏观尺度上（大于德拜长度）正离子和负电子的密度相等，呈准中性。3.2等离子体发生器 plasma generator通过能量转变方式将物质的状态转变为等离子体态的设备。3.3等离子体电子密度 plasma electron density等离子体内部单位体积内可自由运动的电子数，单位为m-3。3.4等离子体电子温度 plasma electron temperature等离子体内电子达到局部热平衡时的平均动能，单位为eV（1eV的平均动能换算温度为11600K）。4概述等离子体测试仪是一种接触式等离子体测量设备，主要用于等离子体电子温度和电子密度的测量，由探针、扫描电源、采集和调理系统组成。探针的探头通常采用耐高温、耐溅射的导电材料，通常选用钨作为探头材料，测量时将其置于等离子体环境中。等离子体测试仪的扫描电源产生周期性的扫描电压，并将其加载到探针上。当扫描电压从负变为正（或从正变为负）的过程中，通过采集和调理系统测量探针对等离子体容器壁（接地）的电压和探针与等离子体组成的回路电流，即可得到一条关于被测等离子体的伏安特性曲线。根据经典朗缪尔探针理论，通过伏安特性曲线求解即可计算等离子体电子温度（Te）和电子密度（Ne）参数。5计量特性5.1电子密度示值误差电子密度测量范围：1012m-3~1018m-3；最大允许误差：±（30%~60%）。5.2电子温度示值误差电子温度测量范围：1eV~10eV；最大允许误差：±（30%~60%）。5.3扫描电源输出电压设置值误差测量范围：-150V~150V；最大允许误差：±（5%设定值+0.05V）。5.4采集和调理系统电压示值误差测量范围：-

适用范围：主要技术内容:三维磁传感器（以下简称“产品”）的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：主要技术内容:本文件规定了采用原子力显微术测量石墨烯材料表面电势的术语和定义、仪器设备、样品前处理、测试方法、计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。本文件适用于化学气相沉积法（CVD法）制备的石墨烯材料表面电势的测量

适用范围：主要技术内容:本标准规定了计量保证体系的评价机构、评价程序、评价内容和评价结果报告

适用范围：主要技术内容:本文件规定了光声断层成像系统的术语和定义、技术要求和试验方法。本文件适用于光声断层成像系统

适用范围：范围:本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查; 主要技术内容:3  术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1动态流量法 Dynamic flow method采用动态流量的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。3.2动态比较法 Dynamic comparison method采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。4  概述4.1  构造真空计现场校准使用的真空度现场校准装置具有小巧、便携、容易移动的特性，能够带入生产现场开展校准工作。真空度现场校准装置主要由校准室、标准真空计、抽气系统、控制系统等组成，RP1为机械泵；TMP1、TMP2为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3是小孔；V1为插板阀；V4为微调阀；V11、V12为电磁阀；其余阀门为球阀； G1为电离规；G2为全量程真空计；G3、G4、G5是满量程为133Pa、1330 Pa、133000Pa的电容薄膜真空计，装置原理图如图1所示。图1 真空度现场校准装置原理图原理4.2.1 动态流量法动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨胀到校准室中，通过校准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态平衡的稳定压力，以此压力作为参考标准校准真空计。标准压力的计算公式如下：P_2=P_1  C1/(C_2 (1- ) )                       （1）式中：—进气小孔C1入口的压力，单位：Pa；—校准室中的压力，单位：Pa；C1—进气小孔C1的标准流导值，单位：m3/s；C2—限流抽气小孔C2的标准流导值，单位：m3/s；—限流抽气小孔C2处的返流比。4.2.2动态比较法通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力，进行比较从而实现校准。4.3   技术指标本标准要求的计量技术指标为压力示值误差，真空计压力示值允许误差限见表1。表1  压力示值允许误差限真空计种类标准项目超高真空电离真空计热阴极电离真空计冷阴极电离真空计压力示值允许误差限±70%±50%+100%；-60%4.4 

适用范围：范围:本文件规定了电能录波器的技术要求，试验方法，检验规则，包装、运输和贮存。 本文件适用于新制造的交流400 V以下的配电网中监测各种稳态信号的便携式电能录波器，具有动态信号监测能力的便携式电能录波器参考执行; 主要技术内容:电能录波器的技术要求，试验方法，检验规则，包装、运输和贮存

适用范围：范围:本标准规定了钢卷尺的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、贮存。 本标准适用于一般长度测量的钢卷尺; 主要技术内容:本标准规定了钢卷尺的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、贮存

适用范围：主要技术内容:本文件规定了无人机载紫外成像仪的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输以及贮存。本文件适用于无人机载紫外成像仪的生产和检验

适用范围：范围:本规范适用于现场液位检测系统校准; 主要技术内容:本规范规定了术语及定术、功能概述、计量性能要求、现场液位测量系统技术要求、计量器具控制