GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
GB/T 24575-2009 Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
国家标准
中文简体
现行
页数：9页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 24575-2009
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 起草人：
- 何友琴、马农农、丁丽
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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中华人民共和国国家标准
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二次离子质谱检测方法
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２００９１０３０发布２０１００６０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
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犌犅犜２４５７５２００９
前言
本标准修改采用ＳＥＭＩＭＦ１６１７０３０４《二次离子质谱法测定硅和硅外延衬底表面上钠、铝和钾》。
本标准对格式进行了相应调整。为了方便比较，在资料性附录中列出了本标准
ＳＥＭＩＭＦ１６１７０３０４Ｂ
章条和ＳＥＭＩＭＦ１６１７０３０４章条对照一览表。并对ＳＥＭＩ１６１７０３０４条款的修改处用垂直单线标识在
它们所涉及的条款的页边空白处。
本标准与ＳＥＭＩＭＦ１６１７０３０４相比，主要技术差异如下：
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