GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

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中华人民共和国国家标准

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二次离子质谱检测方法

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２００９１０３０发布２０１００６０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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前言

本标准修改采用ＳＥＭＩＭＦ１６１７０３０４《二次离子质谱法测定硅和硅外延衬底表面上钠、铝和钾》。

本标准对格式进行了相应调整。为了方便比较，在资料性附录中列出了本标准

ＳＥＭＩＭＦ１６１７０３０４Ｂ

章条和ＳＥＭＩＭＦ１６１７０３０４章条对照一览表。并对ＳＥＭＩ１６１７０３０４条款的修改处用垂直单线标识在

它们所涉及的条款的页边空白处。

本标准与ＳＥＭＩＭＦ１６１７０３０４相比，主要技术差异如下：