GB/T 47719-2026 微机电系统(MEMS)技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法

ICS31200

CCSL.59

中华人民共和国国家标准

GB/T47719—2026

微机电系统MEMS技术

()

MEMS电容式麦克风性能试验方法

Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnolo—Testmethodsofthe

y()gy

performancesforMEMScapacitivemicrophone

2026-05-25发布2026-09-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47719—2026

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

试验条件

4…………………1

一般要求

4.1……………1

大气条件

4.2……………1

其他环境条件

4.3………………………2

测试系统

4.4……………2

麦克风芯片圆片级性能试验方法

5………………………3

麦克风性能试验方法

6……………………3

输出阻抗

6.1……………3

灵敏度

6.2………………4

本底噪声

6.3……………5

信噪比

6.4………………5

声学过载点

6.5…………………………5

动态范围

6.6……………5

频率响应

6.7……………5

极性

6.8…………………6

等效输入噪声

6.9………………………6

总谐波失真

6.10…………………………6

电源抑制比

6.11…………………………6

Ⅰ

GB/T47719—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国微机电技术标准化技术委员会提出

(SAC/TC336)。

本文件由全国微机电技术标准化技术委员会和全国集成电路标准化技术委员会

(SAC/TC336)

共同归口

(SAC/TC599)。

本文件起草单位北京大学北京智芯传感科技有限公司芯联集成电路制造股份有限公司中机生

:、、、

产力促进中心有限公司瑞声声学科技深圳有限公司歌尔微电子股份有限公司苏州敏芯微电子技

、()、、

术股份有限公司天津新智感知科技有限公司北京大学南昌创新研究院中北大学无锡华润上华科技

、、、、

有限公司广州增芯科技有限公司中国航天时代电子有限公司北京赛微电子股份有限公司安徽奥飞

、、、、

声学科技有限公司无锡华润微电子有限公司北京科技大学广东鼎创智造科技有限公司湖南捷力泰

、、、、

科技有限公司安徽京芯传感科技有限公司东莞市瑞勤电子有限公司共达电声股份有限公司

、、、。

本文件主要起草人张威张亚婷顾学强李根梓张金宇宋青林李刚曹笈赵晓东冯艳露

:、、、、、、、、、、

杨明陈得民黄天云石云波胡永刚彭坤张森邢朝洋李立伟魏宝节金文超闻小龙荣根兰

、、、、、、、、、、、、、

王娜方亮周元东杨硕万景明

、、、、。

Ⅲ

GB/T47719—2026

微机电系统MEMS技术

()

MEMS电容式麦克风性能试验方法

1范围

本文件描述了电容式麦克风圆片级和器件级性能的试验条件和试验方法

MEMS。

本文件适用于在空气中使用频率范围为的电容式麦克风

、20Hz~20kHzMEMS。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

声学名词术语

GB/T3947

声系统设备第部分概述

GB/T12060.1—20171:

微机电系统技术术语

GB/T26111(MEMS)

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T3947GB/T26111。

31

.

MEMS电容式麦克风MEMScapacitivemicrophone

由电容式麦克风芯片专用集成电路抗干扰电路等部分组成并通过保护外壳和

MEMS、(ASIC)、,

基板封装成的声学器件

。

32

.

声学过载点acousticoverloadpoint

麦克风总谐波失真达到时所对应的输入声压级

(THD)10%。

注也称为最大声学输入

:。

4试验条件

41一般要求

.

本文件规定的默认测量条件为自由场若包含额外条件应明确指定

,,。

为了获得正确的测量条件应根据器件制造商提供的要求进行操作

,。

42大气条件

.

温度

:15℃~35℃;

相对湿度

:20%~80%;

1