DB53/T 618-2014 气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量
DB53/T 618-2014 Determining the composition of hydrogen tail gas in polycrystalline silicon production using gas chromatography
云南省地方标准
简体中文
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
DB53/T 618-2014
标准类型
云南省地方标准
标准状态
现行
发布日期
2014-08-28
实施日期
2014-12-01
发布单位/组织
云南省质量技术监督局
归口单位
云南省检验检测标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。 本标准适用于氢化尾气中氢气(H2)、氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)含量的测定.
发布历史
-
2014年08月
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研制信息
- 起草单位：
- 昆明冶研新材料股份有限公司
- 起草人：
- 张云晖、金波、亢若谷、白荣林、马启坤、徐远志、徐灵通、赵建为、杨红燕、于晓艳、左世芳、陶明、赵祖乔。
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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