GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
GB/T 32386-2015 Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
国家标准
中文简体
现行
页数：15页
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格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2015-12-31
实施日期
2016-07-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式：WF6。分子量：297.830 419 2（按2009年国际相对原子质量计算）。
发布历史
-
2015年12月
研制信息
- 起草单位：
- 中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司
- 起草人：
- 郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：15页 | 字数：28 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT323862015
电子工业用气体六氟化钨
—
GasesforelectronicindustrTunstenhexaflouride
yg
2015-12-31发布2016-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT323862015
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC203
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