GB/T 32386-2026 电子气体 六氟化钨

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T32386—2026

代替GB/T32386—2015

电子气体六氟化钨

Electronicgas—Tungstenhexafluoride

2026-04-30发布2026-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T32386—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体六氟化钨与相比除结

GB/T32386—2015《》,GB/T32386—2015,

构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

a)(1,20151);

更改了六氟化钨应符合的技术要求见第章年版的第章

b)(4,20153);

更改了采样的要求见第章年版的

c)(5,20154.1.4);

更改了纯度计算方法见年版的

d)(6.1,20154.2);

更改了四氟化碳氧氩氮一氧化碳二氧化碳六氟化硫含量的测定方法见年

e)、+、、、、(6.2,2015

版的

4.3);

更改了四氟化硅氟化氢含量的测定方法见年版的

f)、(6.3,20154.3、4.4);

更改了金属元素及其他元素含量的测定方法见年版的

g)(6.4,20154.5);

更改了检验规则见第章年版的

h)(7,20154.1);

更改了标志包装运输及贮存的要求见年版的

i)、、(8.1、8.2,20155.1);

更改了安全信息见年版的

j)(8.3,20155.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位昊华气体有限公司福建德尔科技股份有限公司宁夏宝廷新材料科技股份有限

:、、

公司昊华气体有限公司西南分公司中国计量测试学会湖北和远气体股份有限公司天津绿菱气体股

、、、、

份有限公司大连华邦化学有限公司北京普瑞分析仪器有限公司中船邯郸派瑞特种气体股份有限

、、、()

公司三峡大学贵州省产品质量检验检测院浙江省化工研究院有限公司上海华爱色谱分析技术有限

、、、、

公司大特成都气体有限公司大连大特气体有限公司联雄投资上海有限公司四川凯发计量检测

、()、、()、

有限公司布鲁克北京科技有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司液化空气中国投资有限

、()、、()

公司科哲上海阀门有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司宿州伊维特新材料有

、()、、

限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司中国计量科学研究院杭州新世纪混合气体有限公司沈阳

、、、、

中复科金压力容器有限公司和立气体上海有限公司北京睿信捷环保科技有限公司福建优力特材

、()、、

料科技有限公司中国计量大学上海市计量测试技术研究院有限公司爱尔兰仪器有限公司

、、、AGC

北京代表处天策标准化服务天津有限公司上海凡伟仪器设备有限公司大连光明化学工业气体质

、()、、

量监测中心有限公司成都分公司西南化工研究设计院有限公司

、。

本文件主要起草人张金彪曹素英王瑜李嘉磊杨扬仲夫程化鹏吴旭飞钟少勇邸士强

:、、、、、、、、、

江罗杜鹏举张长金滕鑫胜袁有录史兰侯鹏钱吉钟卉菲方华娄珈元邓海平黄辉王宾

、、、、、、、、、、、、、、

谭淇尚柏羊赵跃刘英杰房嵩殷昊王阳牛迪孙鑫谈益强尹乐乐高静张朋越史婉君胡树国

、、、、、、、、、、、、、、、

马浩淼吴国忠王乐李洪佳宫兵王大为梁永强赵洁袁其龙姜阳王勇任希辉董志仪王晓文

、、、、、、、、、、、、、、

何波黄小强赖晓峰周鹏云唐霞梅王康茂

、、、、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为

———2015GB/T32386—2015;

本次为第一次修订

———。

Ⅰ

GB/T32386—2026

电子气体六氟化钨

1范围

本文件规定了六氟化钨的技术要求采样检验规则标志包装运输贮存及安全信息的要求描

、、、、、、,

述了相应的试验方法

。

本文件适用于以氟或氟化物与钨为原料制备的六氟化钨

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气瓶颜色标志

GB/T7144

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

液化气体气瓶充装规定第部分工业气瓶

GB/T14193.11:

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

不锈钢焊接气瓶

GB/T32566

大容积钢质无缝气瓶

GB/T33145

电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T34972

气体分析采样导则

GB/T43306

电子气体中酸度的测定第部分傅里叶变换红外光谱法

GB/T46384.11:

气瓶安全技术规程

TSG23

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义

。

4技术要求

六氟化钨的技术要求应符合表的规定一级二级及三级的六氟化钨还应增加金属元素及其他元

1,、

素的要求金属元素及其他元素的要求应符合表的规定

,2。

1