GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
GB/T 15861-1995 Generic specification of ion beam etching system
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1995-12-22
实施日期
1996-08-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1995年12月
-
2012年11月
研制信息
- 起草单位：
- 电子工业部长沙半导体工艺设备研究所
- 起草人：
- 安志超、廖温初
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/BLTJBX 30-2023 茶园用有机肥堆沤技术规程 2021-12-20
- T/XMNXH 141-2024 农业社会化服务 耕作服务规范 2024-12-20
- T/YNZYC 0128-2025 绿色药材 紫皮石斛林间生态种植技术规程 2024-12-01
- T/YNBX 200-2024 滇南玉米坡耕地酸化改良技术规程 2024-12-19
- T/FYCX 07-2021 麒麟西瓜生产技术规程 2021-07-29
- T/YNZYC 0008-2025 绿色药材 砂仁 2024-12-01
- T/EMSTJ 001-2021 地理标志产品 峨眉山藤椒生产技术规程 2021-03-19
- T/NXFSA 025-2022 农产品地理标志 宁夏菜心 2022-06-23
- T/CGAPA 002-2019 宠物配合饲料（全价宠物食品） 标准综合体团体规范 2019-08-01
- T/LSSGB 001-2019 丽水山耕：食用种植产品 2019-11-13