GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
GB/T 15861-1995 Generic specification of ion beam etching system
基本信息
标准号
GB/T 15861-1995
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1995-12-22
实施日期
1996-08-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1995年12月
-
2012年11月
研制信息
- 起草单位：
- 电子工业部长沙半导体工艺设备研究所
- 起草人：
- 安志超、廖温初
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB 16227-1996 车间空气中汞卫生标准 1996-04-03
- GB 16225-1996 车间空气中呼吸性矽尘卫生标准 1996-04-03
- GB 16226-1996 车间空气中石灰石粉尘卫生标准 1996-04-03
- GB 16223-1996 车间空气中偏二甲基肼卫生标准 1996-04-03
- GB 16224-1996 车间空气中白云石粉尘卫生标准 1996-04-03
- GB 16232-1996 车间空气中石膏粉尘卫生标准 1996-04-03
- GB 16228-1996 车间空气中氟化物卫生标准 1996-04-03
- GB 16231-1996 车间空气中四氢呋喃卫生标准 1996-04-03
- GB 16230-1996 车间空气中异丙醇卫生标准 1996-04-03
- GB 16222-1996 车间空气中一甲基肼卫生标准 1996-04-03