GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
GB/T 15861-1995 Generic specification of ion beam etching system
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1995-12-22
实施日期
1996-08-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1995年12月
-
2012年11月
研制信息
- 起草单位：
- 电子工业部长沙半导体工艺设备研究所
- 起草人：
- 安志超、廖温初
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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