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GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

GB/T 40566-2021 Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method

国家标准 中文简体 现行 页数：9页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 40566-2021
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H82 元素半导体材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本文件描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定颗粒硅中氢含量的方法。
本文件适用于流化床法颗粒硅中氢含量的测定，其他硅材料参照使用。
注： 本文件测定氢含量的范围取决于所用氢分析仪的量程，最大测定范围为氢量0.000 08 mg～2.5 mg。以质量分数（%）表示的氢分析仪的测定范围因称取样品量的不同而不同。例如，1 g样品最大测定范围的质量分数为0.000 008%～0.25%；0.15 g样品最大测定范围的质量分数为0.000 06%～1.66%。

发布历史

文前页预览

GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法-第1页
GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法-第2页
GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法-第3页
GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法-第4页

研制信息

起草单位：
无锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、无锡市分析测试学会、中国电子技术标准化研究院、无锡市计量测试院、乐山市产品质量监督检验所、洛阳中硅高科技有限公司、中节能太阳能科技(镇江)有限公司、集萃新材料研发有限公司、常州大学、福建省计量科学研究院、上海材料研究所、苏州博飞克分析技术服务有限公司
起草人：
何莉、杨君、王美娟、蒋威、丁彬斌、鲍军、刘晓霞、鲁文锋、王旭辉、王彬、王赶强、梁洪、楚东旭、邱艳梅、马昀锋、黄国平、王桃霞、薛小强、罗海燕、马冲先、何永强
出版信息：
页数：9页 | 字数：20 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS29.045

CCSH82

中华人民共和国国家标准

/—

GBT405662021

流化床法颗粒硅氢含量的测定

脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

—

GranularolsiliconroducedbfluidizedbedmethodDeterminationof

pypy

—

hdroenPulseheatininertasfusioninfraredabsortionmethod

ygggp

2021-10-11发布2022-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT405662021

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4原理………………………1

5干扰因素…………………1

6试剂和材料………………2

7仪器和设备………………2

8样品制备…………………2

9试验步骤…………………2

10结果处理…………………4

11精密度……………………4

12试验报告…………………4

13质量保证与控制…………………………5

()……………………

附录资料性仪器参考工作条件

A

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