GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝
GB/T 36653-2018 Electronic grade trimethylaluminium
国家标准
中文简体
现行
页数：10页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-01-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式：C3H9Al
相对分子质量：72.09(按2013年国际相对原子质量计算)
本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式：C3H9Al
相对分子质量：72.09(按2013年国际相对原子质量计算)
发布历史
-
2018年09月
研制信息
- 起草单位：
- 江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院
- 起草人：
- 陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT366532018
电子级三甲基铝
Electronicradetrimethlaluminium
gy
2018-09-17发布2019-01-01实施
国家市场监督管理总局
发布
中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
电子级三甲基铝
/—
GBT366532018
*
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲号()
2100029
北京市西城区三里河北街号()
16100045
网址:
pg
服务热线:
400-168-0010
年月第一版
20189
*
定制服务
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