T/SOECC 021-2025 LCD显示彩膜用彩色光刻胶性能测试方法

主要技术内容:下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 13173-2021 表面活性剂 洗涤剂试验方法GB/T 15357-2014 表面活性剂和洗涤剂 旋转粘度计测定液体产品的粘度和流动性质GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级GB/T 43793.1-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能3  术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1  线宽  critical dimension（CD）光刻过程中所形成的图形的尺寸。4  测试环境要求4.1  洁净度要求制片环节（洁净度不低于GB/T 25915.1-2021规定的ISO 7级）。测试环节（洁净度不低于GB/T 25915.1-2021规定的ISO 6级）。4.2  环境条件除非另有规定，测试应在下列条件下进行：a)环境温度：23 ℃ ± 2 ℃；b)相对湿度：30% ~ 70%；c)大气压强：86 kPa ~ 106 kPa。4.3  回温样品取出后放置于常温环境下15 min。4.4  储存要求光刻胶的储存要求如下：a)环境温度：5 ℃ ± 5 ℃；b)相对湿度：30% ~ 70%。光刻胶制得的样片（成膜前）的储存要求如下：a)环境温度：23 ℃ ± 2 ℃；b)相对湿度：30% ~ 70%。5  测试方法5.1  固含量5.1.1仪器电子天平（推荐分辨率：1 mg，重复性：0.7 mg）。5.1.2测试条件固含量测试条件应符合以下规定：a)  应符合4测试环境要求规定；b)  应在黄光条件下检测，可为实验室中光源加滤光膜，滤除500 nm以下的光波。5.1.3测试步骤参考GB/T 43793.1-2024中5固含量规定的测试方法，测试步骤如下：a)使用电子天平称量培养皿质量，精确至± 1 mg，记为m；b)取1 g ± 0.01 g样品于培养皿中，称其质量，精确至± 1 mg；记为M1；轻轻晃动容器使样品在培养皿（直径60 mm）皿底充分摊平，使其铺满底盖并保持液膜厚度均匀；c)将盛有样品的培养皿放入已预先达到测试温度（110 ℃ ± 2 ℃）的热风循环烘箱内，测试时间为1