YS/T 1703-2024 晶片包装片盒表面颗粒的测试 液体颗粒计数法
YS/T 1703-2024 Test of surface particles on chip packaging trays for counting liquid particles in YS/T 1703-2024
行业标准-有色金属
简体中文
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1703-2024
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2024-10-24
实施日期
2025-05-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
本文件适用于直径100mm、125mm、150mm、200mm、300mm的硅抛光片、硅外延片、SOI片及其他材质的半导体晶片包装片盒颗粒洁净度的测试
发布历史
-
2024年10月
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研制信息
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