T/HEBQIA 370-2025 600W准分子激光器技术规范
T/HEBQIA 370-2025
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/HEBQIA 370-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-04-24
实施日期
2025-04-24
发布单位/组织
-
归口单位
河北省质量信息协会
适用范围
范围:本文件适用于600W准分子激光器的设计、制造、检验和使用;
主要技术内容:本文件规定了600W准分子激光器的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存
发布历史
-
2025年04月
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研制信息
- 起草单位：
- 深圳盛方科技有限公司、深圳市大族半导体装备科技有限公司、云谷（固安）科技有限公司
- 起草人：
- 杨礼昭、郭朱、张耀、宋高峰、王帆帆、李俊峰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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