GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法
GB/T 11073-1989 Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1989-03-31
实施日期
1990-02-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1989年03月
-
2007年09月
-
2025年10月
研制信息
- 起草单位：
- 峨嵋半导体材料研究所
- 起草人：
- 王鸿高、李英瑶、李家彦、过惠芬
- 出版信息：
- 页数：13页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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