GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法
GB/T 11073-2007 Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
基本信息
标准号
GB/T 11073-2007
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2007-09-11
实施日期
2008-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
本标准规定了用直排四探针法测量硅单晶片径向电阻率变化的方法。
本标准适用于厚度小于探针平均间距、直径大于15 mm、电阻率为1×10－3 Ω·cm～3×103 Ω·cm硅单晶圆片径向电阻率变化的测量。
发布历史
-
1989年03月
-
2007年09月
-
2025年10月
研制信息
- 起草单位：
- 峨嵋半导体材料厂
- 起草人：
- 梁洪、覃锐兵、王炎
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛７７．０４０．０１
犎１７
中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜１１０７３２００７
代替／—
ＧＢＴ１１０７３１９８９
硅片径向电阻率变化的测量方法
犛狋犪狀犱犪狉犱犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀狉犪犱犻犪犾狉犲狊犻狊狋犻狏犻狋狏犪狉犻犪狋犻狅狀狅狀狊犻犾犻犮狅狀狊犾犻犮犲狊
犵狔
２００７０９１１发布２００８０２０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜１１０７３２００７
前言
本标准是对／—《硅片径向电阻率变化的测量方法》的修订。本标准修改采用了
ＧＢＴ１１０７３１９８９
《硅片径向电阻率变化的测量方法》。
ＡＳＴＭＦ８１０１
本标准与ＡＳＴＭＦ８１０１的一致性程度为修改采用，主要差异如下：
———删去了第章“意义和用途”。
ＡＳＴＭＦ８１０１４
本标准与／—相比主要变化如下：
ＧＢＴ１１０７３１９８９
———因／已并入／，本标准在修订时将硅片电阻率测试方法标准改为
ＧＢＴ６６１５ＧＢＴ１５５２
／，并将第章“规范性引用文件”中的“／”改为“／
定制服务
推荐标准
- YD/T 7387-2026 5G数字蜂窝移动通信网 面向低时延高可靠（uRLLC）的终端设备技术要求和测试方法（第一阶段） 2026-07-15
- YD/T 2379.3-2026 电信设备环境试验要求和试验方法 第3部分：无气候防护场所固定使用的设备 2026-07-15
- YD/T 1312.15-2026 无线通信设备电磁兼容性要求和测量方法 第15部分：超宽带（UWB）通信设备 2026-07-15
- YD/T 7405-2026 工业互联网标识解析 标识数据采集网关技术要求 2026-07-15
- YD/T 1312.11-2026 无线通信设备电磁兼容性要求和测量方法 第11部分：固定宽带无线接入系统用户站及其辅助设备 2026-07-15
- YD/T 7406-2026 工业互联网标识解析 标识数据采集技术要求 2026-07-15
- YD/T 1312.13-2026 无线通信设备电磁兼容性要求和测量方法 第13部分：移动通信终端电源适配器 2026-07-15
- YD/T 7407-2026 工业互联网标识解析 标识数据发现服务技术要求 2026-07-15
- YD/T 7393.2-2026 5G数字蜂窝移动通信网 毫米波终端设备测试方法（第一阶段） 第2部分：一致性测试 2026-07-15
- YD/T 7393.1-2026 5G数字蜂窝移动通信网 毫米波终端设备测试方法（第一阶段） 第1部分：功能和网络兼容性测试 2026-07-15