GB/T 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 6618-1995 Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1995-04-18
实施日期
1995-12-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1995年04月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 北京有色金属研究总院
- 起草人：
- 翟富义、孙燕、陈学清
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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