GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片
GB/T 12964-2003 Monocrystalline silicon polished wafers
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2003-06-16
实施日期
2004-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
归口单位
中国有色金属工业标准计量质量研究所
适用范围
-
发布历史
-
2003年06月
-
2018年09月
研制信息
- 起草单位：
- 北京有色金属研究总院、洛阳单晶硅有限责任公司
- 起草人：
- 翟富义、孙燕、董慧燕、卢立延、曹孜、孙文海
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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