GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
GB/T 14140.1-1993 Silicon slices and wafers—Measuring of diameter—Optical projecting method
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1993年02月
研制信息
- 起草单位：
- 洛阳单晶硅厂
- 起草人：
- 王从赞、夏光勤
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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