1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 国家级标准 >
  4. GB/T 14140-2009

GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法

GB/T 14140-2009 Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

国家标准 中文简体 被代替 已被新标准代替，建议下载标准 GB/T 14140-2025 | 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 14140-2009
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H82 元素半导体材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为300 mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。

发布历史

文前页预览

GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法-第1页
GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法-第2页
GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法-第3页

研制信息

起草单位：
洛阳单晶硅有限责任公司
起草人：
刘玉芹、蒋建国、张静雯、冯校亮
出版信息：
页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

内容描述

犐犆犛２９．０４５

犎８２

中华人民共和国国家标准

／—

犌犅犜１４１４０２００９

代替／—，／—

ＧＢＴ１４１４０．１１９９３ＧＢＴ１４１４０．２１９９３

硅片直径测量方法

犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀犱犻犪犿犲狋犲狉狅犳狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉狑犪犳犲狉

犵

２００９１０３０发布２０１００６０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

／—

犌犅犜１４１４０２００９

前言

本标准代替／《硅片直径测量法光学投影法》和／《硅片直径测量法

ＧＢＴ１４１４０．１ＧＢＴ１４１４０．２

定制服务

    推荐标准

    关联标准

    同系列标准
    GB 14140 第1部分
    GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
    第1部分 被代替
    GB 14140 第2部分
    GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
    第2部分 被代替
    引用标准
    GB/T 2828.1
    GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
    现行
    GB/T 2828.1-2003 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
    被代替
    GB/T 6093
    GB/T 6093-2001 几何量技术规范(GPS) 长度标准 量块
    现行
    GB/T 12964
    GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片
    现行
    GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片
    被代替
    替代以下标准
    GB/T 14140.1-1993
    GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
    被代替
    GB/T 14140.2-1993
    GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
    被代替
    被以下标准替代
    GB/T 14140-2025
    GB/T 14140-2025 半导体晶片直径测试方法
    现行

    相似标准推荐

    更多>