GB/T 14143-1993 300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
GB/T 14143-1993 300～900μm Silicon slices—Measuring of interstitial oxygen content—Infrared absorption method
基本信息
标准号
GB/T 14143-1993
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
适用范围
-
发布历史
-
1993年02月
研制信息
- 起草单位：
- 机械电子工业部第四十六研究所
- 起草人：
- 何秀坤、李光平、王琴、谢重木
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：9 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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