GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

ICS77.040

H17

国；

中华人民共和国国家标准

GB/T1557-2018

代替GB/T15572006

硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

Testmethodfordetermininginterstitialoxygencontentinsiliconbyinfrared

absorption

2018-09-17发布2019-06-01实施

国家市场监督管理总局峪非

中国国家标准化管理委员会0(..'I(J

GB/T1557-2018

目u昌

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准代替GB/T1557-2006《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》，与GB/T1557-2006

相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：

范围中增加了“以低调红外设备测试时，氧含量（原子数）的测试范围从0.5×1015cm-3到硅中

间隙氧的最大同溶度”（见第1章）。

一一一在规范性引用文件中增加了GB/T4059、GB/T4060、GB/T29057、GB/T35306（见第2章）。

一一在方法提要中增加了低泪红外光谱仪的测试原理，井明确“低祖傅里叶变换红外光谱仪测试硅

单晶中氧含量的具体内容见GB/T35306”（见第4章）。

在干扰因素中增加了多品、测试环境、样品位置、洲民设备对测试结果的影响（见5.1、5.8、5.9、

5.10）。

一一将扣除参比光谱后样品的透射光谱在1600cm1处的透射率由＂100%土0.5%”改为“100%土

5%”（见5.4,2006年版5.3）。

一一删除了沉淀氧浓度较高时，1230cm1处的吸收谱带对测试结果的影响（见2006年，版5.5）。

一一将＂6.3千分尺”修改为“6.3厚度测量设备”，修改设备精度大于0.01mm（见6.3,2006年版

6.3）。

一一将“6.4热电偶－毫伏计”修改为“6.4温度测量设备热电偶－毫伏计或其他适用于测试样品

室温度的设备”（见6.4,2006年版6.的。

一一一增加＂6.5温度测试设备湿度计或其他适用于测试环境温度的设备”（见6.5）。

一一将设备检查中的抛光片厚度FR0.065cm改为0.085cm（见8.2.5,2006年版8.2.5）。

一一－将“表面处理”修改为“在测试之前，应保证样品表面兀氧化物”，删除了“用HF腐蚀去｜结表面

的氧化物”（见8.3,2006年版8.3）。

一一将“厚度测量”修改为“测量被视rj样品和参比样品的厚度。两者中心的厚度差应小于土0.5%”

（见8.4,2006年版8.的。

一一将绘制透射谱罔列为资料性附录（见附录A,2006年版8.7）。

一一根据试验情况，修改了精密度（见第10章，2006年版第11章）。

本标准由全同半导体设备和l材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全同半导体设备和材料标准

化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）共同提州井归口。

本标准起草单位：新特能源股份有限公司、有研半导体材料有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、宜

同南玻硅材料有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、峨崛半导体材料

研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。

本标准主要起草人：银波、夏进京、邱艳梅、刘同霞、柴欢、赵品品、刘文明、姚利忠、王海礼、邓浩、

高明、郑连基、陈赫、石宇、杨旭、肖宗杰。

本标准代替了GB/T15572006。

GB/T1557-2006历次版本发布情况为：

一一－GB/T1557-1989、GB/T14143-1993。

I

GB/T1557-2018

硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

1范围

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。

本标准适用于室源电阻率大于0.1D•cm的N型硅单品和室温电阻率大于0.5D•cm的P型硅

单品中间隙氧含量的测定。以常跟红外设备测试时，氧含量（原子数）测试范围从1×1016cm-3到硅中

间隙氧的最大同榕度；以低泪t红外设备测试时，氧含量（原子数）的测试范围从0.5×1015cm3到硅中间

隙氧的最大固溶度。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。儿是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T4059硅多晶气氛区熔基磷检验方法

GB/T4060硅多品真空区熔基础l检验方法

GB/T14264半导体材料术语

GB/T29057用区熔拉品法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

GB/T35306硅单品中碳、氧含量的测定低混傅立叶变换红外光谱法

ASTME131分子光谱有关术语（Standardterminologyrelatingtomolecularspectroscopy)

3术语和定义

GB/T14264和ASTMEl31界定的以及下列术悟和定义适用于本文件。

3.1

色散型红外光谱仪dispersiveinfraredspectrophotometer

一种使用棱镜或光栅作为色散元件，通过振幅波数（或波长）光谱罔获取数据的红外光谱仪。

3.2

傅里叶变换红外光谱仪Fouriertransforminfraredspectrophotometer

一种通过傅里叶变换将Fl,干涉仪得到的干涉谱罔转换为振幅一波数（或波长）光谱罔来获取数据的

红外光谱仪。

3.3

参比光i普referencespectrum

参比样品的光谱。

注：在用双光乡R3'Gt曾仪测试时，可以通过直按将参比样品放入样品光路，让参比光路空着获得；在用单光束）＇（；i着仪

测试时，可以通过向红外先路巾获得的参比样品的）'Gi普扣除背最光话后计算获得。

3.4

样品光i昔samplespectrum

测试样品的光谱。

注：在用双光JIU'G谱仪测试时，可以通过直按将测试样品放入样品光路，让参比光路空着获得；在用单光点）＇（；i苦仪

测试时，将自测试样品放入红外）＇（；路获得的）＇（;l者扣除背景）＇（；话后计算获得。

GB/T1557-2018

4方法提要

使用经过校准的红外光谱仪和适当的参比材料，通过