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GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

GB/T 4060-2007 Polycrystalline silicon—Examination method—Vacuum zone-melting on boron

国家标准 中文简体 被代替 已被新标准代替，建议下载标准 GB/T 4060-2018 | 页数：6页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 4060-2007
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H17 半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.01 金属材料试验综合
发布日期
2007-09-11
实施日期
2008-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。 本标准检测杂质浓度有效范围：0.002×10-9～100×10-9。

发布历史

文前页预览

GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法-第1页
GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法-第2页
GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法-第3页
GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法-第4页

研制信息

起草单位：
峨眉半导体材料厂
起草人：
罗莉萍、梁洪、覃锐兵、王炎、王向东
出版信息：
页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开

内容描述

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