GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
GB/T 13389-1992 Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1992年02月
-
2014年12月
研制信息
- 起草单位：
- 峨嵋半导体材料研究所
- 起草人：
- 过惠芬、陈永同、吴道荣
- 出版信息：
- 页数：18页 | 字数：34 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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