GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

GB/T 13389-1992 Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon

国家标准 中文简体 被代替 已被新标准代替,建议下载标准 GB/T 13389-2014 | 页数:18页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 13389-1992
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-

研制信息

起草单位:
峨嵋半导体材料研究所
起草人:
过惠芬、陈永同、吴道荣
出版信息:
页数:18页 | 字数:34 千字 | 开本: 大16开

内容描述

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