GB/T 1555-2023 半导体单晶晶向测定方法

ICS77.040

CCSH21

中华人民共和国国家标准

/—

GBT15552023

代替/—

GBT15552009

半导体单晶晶向测定方法

Testmethodsfordeterminintheorientationofasemiconductivesinlecrstal

ggy

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT15552023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,/—,

本文件代替GBT15552009半导体单晶晶向测定方法与GBT15552009相比除结构调

,:

整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了射线衍射定向法的适用范围见第章年版的第章

aX120091

)();

增加了试验条件见第章

b4

)(,);

更改了射线衍射法定向法的原理见年版的第章

cX5.120094

)();

增加了样品的要求见和

d5.46.4

)(,);

更改了试验数据处理见年版的第章

e