GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2006 The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
基本信息
标准号
GB/T 1557-2006
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
发布历史
-
1989年03月
-
2006年07月
-
2018年09月
研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料厂
- 起草人：
- 梁洪、覃锐兵、王炎
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/HEBQIA 014-2021 喷水织布机 2021-08-11
- T/CSTM 00397-2023 复杂压裂工况套管柱试验评价方法 2023-11-17
- T/QGCML 1112-2023 风门双色模具 2023-07-27
- T/CASMES 243-2023 汽车检具夹具自动化设备通用规范 2023-12-12
- T/CAMMT 52-2023 绿色铸造 冷冻铸造 铸件低温成形工艺规范 2023-04-10
- T/ZZB 0425-2018 电动角向磨光机 2018-08-10
- T/WLJC 61-2021 卧式车铣复合中心 精度检验 2021-01-11
- T/ZZB 2378-2021 闭式多工位压力机 2021-09-01
- T/TMAC 084-2024 煤电环保智能化控制平台建设指南 2024-02-01
- T/ZZB 2563-2021 多割炬可调式数控切割机 2021-09-15