GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2006 The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
基本信息
标准号
GB/T 1557-2006
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
发布历史
-
1989年03月
-
2006年07月
-
2018年09月
研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料厂
- 起草人：
- 梁洪、覃锐兵、王炎
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/ZZB 1113-2019 涂层不锈钢真空碗 2019-05-22
- T/ZQTX 002-2023 章丘铁锅 2023-10-13
- T/XSPCSH 0010-2020 大容量中性墨水圆珠笔和笔芯 2020-10-23
- T/CMAC 1001-2023 车辆模型运动水平等级评定 2023-07-10
- T/SDBX 003-2017 电饭煲烹饪米饭评价方法 2017-05-25
- T/CAS 643-2022 电冰箱图像识别专区食材识别技术要求及试验方法 2022-09-19
- T/HEEIA 0003-2022 多功能学生公寓床 2022-12-26
- T/CASME 207-2022 燃气罩余热节能利用评价技术要求 2022-12-22
- T/FSS 33-2022 佛山标准 软体家具 弹簧软床垫 2022-05-13
- T/AQB 19-2022 刷制品通用术语 2022-07-22