GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2006 The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
基本信息
标准号
GB/T 1557-2006
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
发布历史
-
1989年03月
-
2006年07月
-
2018年09月
研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料厂
- 起草人：
- 梁洪、覃锐兵、王炎
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/SOECC 006-6-2022 超微细铜及铜合金圆线 第6部分：超微细圆铜线 2022-12-27
- T/CISA T/CISA053-2020 “领跑者”标准评价要求 LNG 储罐预应力钢绞线用热轧盘条 2020-11-23
- T/SSEA 0203-2022 串罐高炉智能中心加焦系统技术规范 2022-07-10
- T/CNIA 0091-2021 绿色设计产品评价技术规范 锆锭 2021-03-19
- T/SSEA 0144-2021 汽车导向臂用弹簧扁钢 2021-11-01
- T/CISA 041-2020 口罩用镀锌钢丝 2020-07-22
- T/ZZXJX 137-2022 钢围堰工程技术规范 2022-10-17
- T/ZZB 1802-2020 建筑用彩色涂层钢板及钢带 2020-11-06
- T/CISA 220-2020 紫外固化喷印彩涂板 2022-07-08
- T/CNIA 0080-2021 绿色设计产品评价技术规范 硫醇甲基锡 2021-03-19