GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2006 The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
发布历史
-
1989年03月
-
2006年07月
-
2018年09月
研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料厂
- 起草人：
- 梁洪、覃锐兵、王炎
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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