GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2006 The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
基本信息
标准号
GB/T 1557-2006
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
发布历史
-
1989年03月
-
2006年07月
-
2018年09月
研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料厂
- 起草人：
- 梁洪、覃锐兵、王炎
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB37/ 836-2015 水泥单位产品能源消耗限额 2015-10-13
- DB37/T 2660-2015 规模化毛皮动物养殖场消毒技术 2015-08-09
- DB37/T 2674-2015 鹅肥肝生产技术规范 2015-09-22
- DB37/T 2704-2015 固定污染源废气 氮氧化物的测定 紫外吸收法 2015-10-13
- DB37/T 2700-2015 统计产品与服务解决方案软件(SPSS)辅助质量管理统计技术应用指南 2015-10-13
- DB37/T 2705-2015 固定污染源废气 二氧化硫的测定 紫外吸收法 2015-10-13
- DB37/T 010-2015 山东省县级以下行政区划代码 2015-09-02
- DB37/T 2675-2015 种鹅场建设规范 2015-09-22
- DB37/T 2664-2015 中药病虫害综合防治技术规程 金银花 2015-08-09
- DB37/T 2662-2015 毛皮动物疫病实验室诊断技术 2015-08-09