GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

GB/T 4059-2018 Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere

国家标准 中文简体 现行 页数:8页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 4059-2018
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-11-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定,测定范围为0.01×1013 cm-3~500×1013 cm-3。

发布历史

研制信息

起草单位:
江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、亚洲硅业(青海)有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、新特能源股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、鄂尔多斯多晶硅业有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、乐山市产品质量监督检验所、山东大海新能源发展有限公司
起草人:
胡伟、耿全荣、胡自强、鲁文锋、柳德发、薛心禄、蔡延国、尹东林、宗凤云、邱艳梅、刘国霞、高明、楚东旭、刘翠、王瑞、姚利忠、梁洪、唐珊珊、王佳
出版信息:
页数:8页 | 字数:15 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS77.040

H17

中华人民共和国国家标准

/—

GBT40592018

代替/—

GBT40592007

硅多晶气氛区熔基磷检验方法

Testmethodforhoshoruscontentinolcrstallinesiliconbzone-meltin

pppyyyg

methodundercontrolledatmoshere

p

2018-12-28发布2019-11-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT40592018

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

/—《》,/—,

本标准代替GBT40592007硅多晶气氛区熔基磷检验方法与GBT40592007相比除编

,:

辑性修改外主要技术变化如下

———基磷含量的测定范围由“-9-9”修改为“13-313-3”

0.002×10~100×100.01×10cm~500×10cm

(,);

见第章年版的第章

120071

———,/、/、/、/,

调整了规范性引用文件删除了GBT1553GBT1554GBT1555GBT13389增加了

/、/、/、/、/—、/、

GBT1550GBT4060GBT4842GBT8979GBT11446.12013GBT24574

/、/—(,);

见第章年版的第章

GBT24581GBT25915.12010220072

———,“”(,);

修改了样芯的定义删除了空心钻头见3.32007年版的3.3

———(、,、);

修改了方法和方法的方法原理表述见年版的

AB4.14.220074.14.2

———“/—

干扰因素中酸洗和区熔操作的环境修改为不低于规定的级洁净环

GBT25915.120106

”[,)];

境见年版的第章

5.320075c

———、、(、

干扰因素中增加了样品处理过程区熔速度硅芯等项对测试结果有影响的因素见

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