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T/ZSA 325-2026 气体质量流量控制器性能测试规范

T/ZSA 325-2026 Performance Test Specifications for Gas Mass Flow Controllers

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZSA 325-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
M73 视频、脉冲系统设备
国际标准分类号（ICS）
01.040.01 综合、术语学、标准化、文献 (词汇)
发布日期
2026-01-13
实施日期
2026-01-14
发布单位/组织
-
归口单位
中关村标准化协会
适用范围
本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求。 本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求

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研制信息

起草单位：
拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司、辽宁冠华半导体有限公司
起草人：
吕欣、何沛、朱家宽、李冠男、刘志凯、张心怡
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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