T/QGCML 3233-2024 泛半导体行业真空泵技术要求

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标准号

T/QGCML 3233-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

23.080 泵

发布日期

2024-03-05

实施日期

2024-03-20

发布单位/组织

归口单位

全国城市工业品贸易中心联合会

适用范围

主要技术内容:本文件规定了泛半导体行业真空泵的术语和定义、主要参数、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体行业真空泵的生产和检验

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起草人：: 雷晓宏、王普学、魏民、雷晓波、汪鹏、王进福、陈雷、丁印明、姜斌、刘朋飞、孟永见、王洪帅、王鑫、张建平、张兰涛、张新房、郑华、陈丰、冯伟、彭冲、苏海军、由凯生

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