GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

GB/T 30857-2014 Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

国家标准中文简体现行页数：5页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 30857-2014

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）

77.040 金属材料试验

发布日期

2014-07-24

实施日期

2015-04-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

适用范围

本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。

发布历史

2014年07月

GB/T 30857-2014　蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

当前标准现行 2014-07-24

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研制信息

起草单位：: 协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司

起草人：: 魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮

出版信息：: 页数：5页 | 字数：6 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS77.040

H21

中华人民共和国国家标准

/—

GBT308572014

蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

Standardtestmethodforthicknessandthicknessvariationonsahiresubstrates

2014-07-24发布2015-04-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT308572014

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

定制服务

关联标准

引用标准

GB/T 14264

GB/T 14264-2024 半导体材料术语

现行

GB/T 14264-1993 半导体材料术语

被代替

GB/T 14264-2009 半导体材料术语