GB/T 38518-2020 柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法

ICS25.220.01

A29

中华人民共和国国家标准

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GBT385182020

柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法

Measurementofcoatinthicknessonflexiblefilmsubstrate

g

2020-03-06发布2021-02-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT385182020

前言

Ⅰ

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GBT385182020

柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法

1范围

(、)

本标准规定了柔性薄膜基体上涂层包含有机无机与金属涂层厚度扫描电子显微镜测量的基本

、、、。

方法及原理标准样品和仪器设备操作方法数据处理的方法

本标准适用于厚度不大于3mm的柔性薄膜基体上厚度为10nm~0.5mm的涂层的厚度测量。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/—纳米级长度的扫描电子显微镜测量方法通则

GBT203072006

3基本方法及原理

3.1截面制备

,

针对柔性薄膜基体采用机械抛光容易发生扭曲变形或磨粒嵌入等问题采用氩离子束抛光机可以

,

有效对柔性薄膜基体截面进行抛光在扫描电子显微镜的二次电子像或者背散射电子像下能够清晰区

分柔性薄膜基体与基体上的涂层。

。,

氩离子束抛光机主要由带涡轮真空泵的样品室和用于样品定位的光学显微镜组成抛光过程中

,,

样品固定在样品座上在光学显微镜下选择样品抛光区域然后用遮挡板遮住样品非目标区域仅露出需

,,、,

抛光区域抽真空后氩气通过离子源产生离子束经加速集束后轰击样品抛光区域与样品表面层发生

,、,。

碰撞将能量传递给样品表面的原子分子而使之产生溅射从而形成对样品的抛光作用

3.2厚度测量

,

用扫描电子显微镜在相同加速电压和工作距离下获取待测样品截面和标准样品的二次电子像或

,。

背散射电子像然后测量出待测样品图像中柔性薄膜基体上涂层的厚度和标准样品图像中的网格长度

,。

结合标准样品的已知长度计算涂层的厚度

4标准样品和仪器设备

4.1标准样品

()。

采用国家级有证书标准样品或省级以上含省级计量技术机构标定的样品

4.2扫描电子显微镜

,。

二次电子像分辨力优于3nm背散射电子像分辨力优于5nm

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