GB/T 46173-2025 电子气体 惰性稀有气体

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T46173—2025

电子气体惰性稀有气体

Electronicgas—Noblegas

2025-10-05发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T46173—2025

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

技术要求

4…………………2

采样

5………………………3

试验方法

6…………………3

惰性稀有气体纯度

6.1…………………4

氪中氢氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷氙四氟化碳六氟乙烷六氟化硫含量

6.2、+、、、、、、、、

的测定

………………5

氪中非甲烷总烃含量的测定

6.3………………………6

氖中氦含量的测定

6.4…………………7

氖中氢氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷含量的测定

6.5、+、、、、………7

氖中总烃含量的测定

6.6………………8

氙中氢氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷氪四氟化碳六氟乙烷六氟化硫含量

6.7、+、、、、、、、、

的测定

………………8

氙中非甲烷总烃含量的测定

6.8………………………9

氙中一氧化氮二氧化氮及氧化亚氮含量的测定

6.9、…………………9

水分含量的测定

6.10…………………11

尾气处理

6.11…………………………11

检验规则

7…………………11

标志包装运输贮存及安全信息

8、、、……………………11

标志

8.1…………………11

包装运输及贮存

8.2、…………………11

安全信息

8.3……………11

附录资料性气路流程示意图

A()………………………12

测定氪中氢氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷氙四氟化碳六氟乙烷六氟化

A.1、+、、、、、、、、

硫含量的气路流程示意图

………………………12

测定氖中氦含量的气路流程示意图

A.2……………13

测定氖中氢氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷含量的气路流程示意图

A.3、+、、、、…13

测定氙中氢氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷氪四氟化碳六氟乙烷六氟化

A.4、+、、、、、、、、

硫含量的气路流程示意图

………………………14

测定氙中非甲烷总烃含量的气路流程示意图

A.5…………………15

Ⅰ

GB/T46173—2025

附录资料性安全信息

B()………………17

基本信息

B.1……………17

危险性说明

B.2…………………………17

操作注意事项

B.3………………………17

紧急情况应对措施

B.4…………………17

泄漏处理处置

B.5………………………18

存储注意事项

B.6………………………18

废弃处置说明

B.7………………………18

参考文献

……………………19

Ⅱ

GB/T46173—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位昊华气体有限公司西南分公司衢州杭氧特种气体有限公司华测检测认证集团

:、、

股份有限公司河南心连心深冷能源股份有限公司福建德天宸新材料科技有限公司湖北和远气体股

、、、

份有限公司北京控制工程研究所河北邯钢特种气体有限公司大连华邦化学有限公司广东华特气体

、、、、

股份有限公司中石化北京化工研究院有限公司重庆瑞信气体有限公司北京普瑞分析仪器有限公

、()、、

司深圳捷工科技股份有限公司三峡公共检验检测中心中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司福建

、、、()、

恒申电子材料科技有限公司北京首钢气体有限公司中国计量科学研究院布鲁克北京科技有限公

、、、()

司中海油能源发展股份有限公司安全环保分公司中昊光明化工研究设计院有限公司浙江泓芯半导

、、、

体有限公司浙江省化工研究院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司

、、、、

杭州新世纪混合气体有限公司中国计量大学中国计量测试学会联雄投资上海有限公司昆明广瑞

、、、()、

达特种气体有限责任公司超谱科技成都有限公司上海凡伟仪器设备有限公司沈阳中复科金压力

、()、、

容器有限公司液化空气中国投资有限公司爱尔兰仪器有限公司北京代表处宿州伊维特新

、()、AGC、

材料有限公司贵州省产品质量检验检测院朗析仪器上海有限公司西南化工研究设计院有限公司

、、()、。

本文件主要起草人胡迎汪晗陈桂淋郭英阁崔增涛戚芮甲曹素英潘振环江罗方强宋飞

:、、、、、、、、、、、

樊超马卫东陈利斌侯鹏钱吉傅铸红陈艳珊吴长江侯秀华魏昕江月军金星屹史兰刘军航

、、、、、、、、、、、、、、

王露谢磊滕鑫胜郑阳光马彬淇廖鸿昌赵光明李晓尹冬梅王漫赵跃蔡长青孙福楠王飞华

、、、、、、、、、、、、、、

兰锋吴宁捷张琦炎方华郑新蕊程欣张金波张静杨扬仲夫黄辉高静曲强何波黄小强

、、、、、、、、、、、、、、

房嵩殷昊李明宫兵任希辉谈益强尹乐乐李建浩程化鹏周鹏云唐霞梅

、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T46173—2025

电子气体惰性稀有气体

1范围

本文件规定了惰性稀有气体的技术要求描述了相应的试验方法还规定了采样检验规则标志

,,、、、

包装运输及贮存要求并提供了安全信息

、。

本文件适用于以工业惰性稀有气体为原料提纯制得的惰性稀有气体

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

氩

GB/T4842

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分热式质量流量控制器

GB/T5275.77:

纯氙高纯氙和超纯氙

GB/T5828、

纯氪高纯氪和超纯氪

GB/T5829、

气体分析微量水分的测定第部分电解法

GB/T5832.11:

气体分析微量水分的测定第部分露点法

GB/T5832.22:

气体分析气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB/T7144

纯氮高纯氮和超纯氮

GB/T8979、

气体分析气体中微量一氧化碳二氧化碳和碳氢化合物含量的测定火焰离子化

GB/T8984、

气相色谱法

铝合金无缝气瓶

GB/T11640

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

压缩气体气瓶充装规定

GB/T14194

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

气体分析采样导则

GB/T43306

气瓶安全技术规程

TSG23

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

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