GB/T 47753-2026 微机电系统(MEMS)技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范

ICS31200

CCSL.55

中华人民共和国国家标准

GB/T47753—2026

微机电系统MEMS技术车规级

()

MEMS半导体气体传感器技术规范

Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnolo—Technicalsecificationof

y()gyp

automotiveMEMSsemiconductorgassensor

2026-07-02发布2027-02-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47753—2026

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

分类

4………………………2

基本参数

5…………………3

工作温度范围

5.1………………………3

功能执行状态等级

5.2…………………3

工作电压

5.3……………4

工作环境要求

5.4………………………4

性能要求

6…………………4

外观

6.1…………………4

外形及尺寸

6.2…………………………4

零点漂移

6.3……………4

响应时间

6.4……………4

恢复时间

6.5……………4

灵敏度

6.6………………4

灵敏度漂移

6.7…………………………4

重复性

6.8………………4

长期稳定性

6.9…………………………5

环境耐受性

6.10…………………………5

机械耐受性

6.11…………………………5

方位灵敏度

6.12…………………………6

高浓度气体耐久性

6.13…………………6

抗干扰性

6.14……………6

耐硅中毒性能

6.15………………………6

盐雾试验

6.16……………6

电磁兼容性

6.17…………………………6

试验方法

7…………………7

试验大气条件

7.1………………………7

一般性能检测

7.2………………………8

零点漂移试验

7.3………………………8

响应时间试验

7.4………………………8

Ⅰ

GB/T47753—2026

恢复时间试验

7.5………………………9

灵敏度试验

7.6…………………………9

灵敏度漂移试验

7.7……………………9

重复性试验

7.8…………………………9

长期稳定性试验

7.9……………………9

环境耐受性试验

7.10…………………10

机械耐受性试验

7.11…………………11

方位灵敏度试验

7.12…………………11

高浓度气体耐久性试验

7.13…………11

抗干扰性试验

7.14……………………11

耐硅中毒性试验

7.15…………………11

盐雾试验

7.16…………………………11

电磁兼容性试验

7.17…………………12

附录资料性静态气体浓度配制试验箱与气体浓度静态配制方法

A()………………13

静态气体浓度配制试验箱

A.1………………………13

气体浓度静态配制方法

A.2…………13

附录资料性动态气体浓度配制试验箱与气体浓度动态配制方法

B()………………15

动态气体浓度配制试验箱

B.1…………15

气体动态配制方法

B.2…………………15

参考文献

……………………16

Ⅱ

GB/T47753—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本文件主要起草单位苏州慧闻纳米科技有限公司中机生产力促进中心有限公司东风汽车集团

:、、

股份有限公司比亚迪汽车工业有限公司上海矽睿科技股份有限公司北京信息科技大学重庆渝微电

、、、、

子技术研究院有限公司北京智芯微电子科技有限公司湖北省产品质量监督检验研究院北京智芯传

、、、

感科技有限公司机械工业仪器仪表综合技术经济研究所武汉理工大学北京大学南昌创新研究院

、、、、

东南大学无锡芯感智科技股份有限公司苏州市计量测试院上海芯物科技有限公司无锡华润上华科

、、、、

技有限公司华中科技大学苏州感闻安全科技有限公司中国汽车技术研究中心有限公司

、、、。

本文件主要起草人孙旭辉张平平李根梓洪志强孙亚轩张幸伟尤睿徐冬梅方东明姚远

:、、、、、、、、、、

张亚婷朱敏杰刘俐胡永刚陈得民魏向阳周再发杨绍松耿彦红王家聪漆奇段国韬柳亮

、、、、、、、、、、、、、

田鑫冯军姚鹏曹冬冬

、、、。

Ⅲ

GB/T47753—2026

微机电系统MEMS技术车规级

()

MEMS半导体气体传感器技术规范

1范围

本文件规定了车规级半导体气体传感器的分类基本参数性能要求试验方法

MEMS、、、。

本文件适用于采用工艺制作的车规级半导体气体传感器的设计生产和检验包

MEMSMEMS、。

括车内外空气质量传感器车载人体呼出气体传感器汽车尾气传感器新能源车动力安全气体传感器

/、、、

如车用动力电池安全气体传感器和燃料电池车安全气体传感器等

()。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验低温

GB/T2423.12A:

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验高温

GB/T2423.22B:

环境试验第部分试验方法试验恒定湿热试验

GB/T2423.32:Cab:

环境试验第部分试验方法试验和导则冲击

GB/T2423.52:Ea:

环境试验第部分试验方法试验盐雾

GB/T2423.172:Ka:

道路车辆电气及电子设备的环境条件和试验第部分一般规定

GB/T28046.11:

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

MEMS半导体气体传感器MEMSsemiconductorgassensor

[][]

采用技术加工工艺利用半导体材料的电导率变化将感知的气体浓度转换成可输出电信

MEMS、,

号的器件

。

32

.

零点输出zerooutput

在清洁空气中半导体气体传感器处在稳定工作状态时的信号输出值

,MEMS。

来源有修改

[:GB/T7665—2005,3.5.1.29,]

33

.

零点漂移zeroshift

在清洁空气中半导体气体传感器上电达到稳定工作状态后在规定的时间内其零点输出

,MEMS,

的变化量

。

来源有修改

[:GB/T7665—2005,3.5.1.73,]

1