T/DGECA 045-2026 高精度晶圆加工工艺标准及验收规范
T/DGECA 045-2026 Precision Wafer Processing Standard and Acceptance Specification
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DGECA 045-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-02-25
实施日期
2026-02-28
发布单位/组织
-
归口单位
东莞市电子商务协会
适用范围
本文件规定了高精度集成电路晶圆加工的加工前准备、加工工艺、质量检测、成品验收以及包装、运输与存储等内容。
本文件适用于晶圆加工车间的生产作业、质量检验部门的检测验收工作，同时作为公司向上下游合作方提供晶圆产品技术对接、质量确认的依据
发布历史
-
2026年02月
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研制信息
- 起草单位：
- 上海铂肯材料技术有限公司、上海央达商务咨询中心（有限合伙）、上海苗疆商务咨询中心（有限合伙）
- 起草人：
- 黄水平、余夏冰、余美英
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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