GB/T 8760-2020 砷化镓单晶位错密度的测试方法

ICS77.040

H21

中华人民共和国国家标准

/—

GBT87602020

代替/—

GBT87602006

砷化镓单晶位错密度的测试方法

Testmethodfordislocationdensitofmonocrstalalliumarsenide

yyg

2020-09-29发布2021-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT87602020

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

/—《》。/—

本标准代替GBT87602006砷化镓单晶位错密度的测量方法本标准与GBT87602006

,:

相比除编辑性修改外主要技术变化如下

———(,);

修改了标准范围中的规定内容和适用范围见第章年版的第章

120061

———();

增加了规范性引用文件见第章

2

———、,“/

删除了位错位错密度的术语和定义增加了引导语GBT14264界定的术语和定义适用于

”(,、);

本文件见第章年版的

320062.12.2

———“”(,);

删除了方法原理中采用择优化学腐蚀技术显示位错