GB/T 47185-2026 微束分析 分析电子显微术 用于电子能量损失谱元素分析的能量标尺校准程序

ICS71.040.50

CCSN33

中华人民共和国国家标准

/—

GBT471852026

微束分析分析电子显微术

用于电子能量损失谱元素分析的

能量标尺校准程序

——

MicrobeamanalsisAnalticalelectronmicrosco

yypy

Calibrationrocedureofenerscaleforelementalanalsisb

pgyyy

electronenerlosssectrosco

gyppy

(:,)

ISO246392022MOD

2026-02-27发布2026-09-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT471852026

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………3

5能量值的确定及其校准方法……………3

5.1设备…………………3

5.2参考物质……………4

5.3能量步长和能量标尺的校准程序…………………5

6校准报告…………………10

()……………

附录资料性磁棱镜漂移管电压的校准

A11

()………………

附录资料性能量步长线性度的评估

B12

参考文献……………………13

Ⅰ

/—

GBT471852026

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

本文件修改采用:《微束分析分析电子显微术用于电子能量损失谱元素分析的

ISO246392022

能量标尺校准程序》。

本文件与:相比做了下述结构调整:

ISO246392022

———:,();

将图后的注移至正文见

ISO24639202275.3.4.1

———:“”,(

将的参考物质改为原改为后续章节号相应调整见第

ISO2463920225.2.55.25.25.35

章)。

本文件与:的技术差异及其原因如下:

ISO246392022

———(),;

更改了本文件的适用范围见第章以方便操作

1

———/(),,

用规范性引用的替换了见第章以适应给我国的技术条件增加

GBT40300ISO159323

可操作性;

———(),。

增加了电子能量损失谱采集时进行相对厚度检查的推荐值见5.3.1增强可操作性

本文件做了下列编辑性改动:

———“”();

增加了术语和定义中内置型能损谱仪的注见3.11

———删除了部分未使用或仅单次使用的缩略语;

———“”();

增加了缩略语见第章

CMOS4

———“”“”();

增加了缩略语的义项电子能量损失谱见第章

EELS4

———[()、()、()、()];

在各公式后增加了对式中符号的说明见式1式2式3式4

———(、、、)。

在各图后补全了标引序号说明见图图图图

4567

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国微束分析标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC38

:、、、。

本文件起草单位北京化工大学中国科学院化学研究所南昌大学中国科学院金属研究所

:、、、。

本文件主要起草人洪崧王岩华汤斌兵贺连龙

Ⅲ

/—

GBT471852026

引言

()。()

电子能量损失谱法EELS可用于高空间分辨率的元素分析在透射电子显微镜TEM或扫描透

(),,,;

射电子显微镜STEM中入射电子穿透电子透明的试样例如减薄试样被样品中的原子散射谱仪分

。

析非弹性散射电子以识别样品中的元素通过将芯损失边的谱峰能量和形状与手册中各元素的谱峰能

,。,

量表和谱图作比较可以识别由氢至铀的所有元素在0eV~3000eV的能量范围内按照本文件校

,,,

准谱仪使芯损失边能量测量的相对不确定度优于3%即可以准确识别各元素芯损失边满足元素分

析的要求。

Ⅳ

/—

GBT471852026

微束分析分析电子显微术

用于电子能量损失谱元素分析的

能量标尺校准程序

1范围

本文件描述了在透射电子显微镜或扫描透射电子显微镜中电子能量损失谱的能量步长和能量标尺

的校准程序。

,。

本文件适用于进行元素分析之前的电子能量损失谱的校准校准能量范围在0eV~3000eV

,

本文件适用于分析薄试样透射电子的电子能量损失谱不适用于分析块体试样背散射电子的电子

能量损失谱。

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/微束分析分析电子显微学术语(/—,—,)

GBT40300GBT403002021ISO159322013MOD

3术语和定义

/界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

GBT40300

3.1

接收角accetanceanle

pg

γ

电子能量损失谱仪入口光阑所限定的电子束锥角的一半。

:。

注见图1

3.2

通道channel

并行检测器上一个像素的范围。

3.3

收集角collectionanle

g

β

由物镜光阑所限定的电子束锥角的一半。

:。

注见图1

3.4

会聚角converenceanle

gg

α

经聚光镜系统形成的锥形电子束锥角的一半。

:。

注见图1

1