GB/T 39158-2020 平面显示用高纯铜旋转管靶

ICS77.150.30

H62GB

中华人民共和国国家标准

GB/T39158-2020

平面显示用高纯铜旋转管靶

Highpuritycopperrotatabletubetargetforflatpaneldisplay

2020-11-19发布2021-10-01实施

国家市场监督管理总局申＃

国家标准化管理委员会保叩

GB/T39158-2020

前言

本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。

本标准由中国有色金属工业协会提出。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。

本标准起草单位z有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有

限公司、沈阳有色金属加工有限公司。

本标准主要起草人g曾浩、罗俊锋、韩知为、贺昕、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚、

袁海军、刘晓、张健、郭姗姗。

I

GB/T39158-2020

平面显示用高纯铜旋转管靶

1范围

本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标

志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。

本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单〉适用于本文件。

GB/T1804-2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GBT5121.27铜及铜合金化学分析方法第27部分＝电感精合等离子体原子发射光谱法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则

YS/T347铜及铜合金平均晶粒度测定方法

YS/T922高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

YS/T10002014铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件．

3.1

旋转管靶rotatabletubetarget

一种平板显示领域用的管状靶材。

注z主要用于电子薄膜沉积。

3.2

表面粗糙度S町fa回roughn酣

Ra

加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra，即在一定测量长度t

范围内，轮廓上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差．用下式表示2

Ra二＋J:IyIdx

4分类

产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为骨155×438、jll55×

888、ii155×1091、jll55×888、世167×2490。不同牌号对应的规格见表1。

示如lE铜吉量为99.995%的旋转铜靶，表示为RCu-4N5,

1

GB/T39158-2020

表1牌号与规格

规格

牌号

mm

RCu-4N

,S155X438、世155×888

RCu-4N5,S155×1091、,1155×888

RCu-5N骨167X2490

5技术要求

5.1化学成分

平面显示用高纯铜旋转管靶的化学成分要求应符合表2规定。

表2化学成分

RCu-4NRCu-4N5RCu-5N

牌号

99.9999.99599.999

铜含量气质量分数）／%，不小于

Ag252

Al0.5

As