GB/T 23611-2009 金靶材

ICS77．120．99

H68

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中华人民共和国国家标准

GB／T

金靶材

Gold

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2009—04—15发布

宰瞀鹘鬻瓣警矬瞥星发布中国国家标准化管理委员会““’

GB／T23611—2009

刖昌

本标准由中国有色金属工业协会提出。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。

本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。

本标准由北京达博有色金属焊料有限责任公司参与起草。

本标准主要起草人：闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民。

23611—2009

GB／T

金靶材

1范围

本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。

本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有

的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

GB／T4134金锭

GB／T11066．5金化学分析方法银、铜、铁、铅、锑和铋量的测定原子发射光谱法

GB／T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

3要求

3．1产品分类

金靶材的类型按金的纯度分为IC-Au99．99、ICAu99．999二种。

金靶材的形状主要为圆盘状，尺寸主要有直径：100mm、125him、150ttlm、200rtlm、250mm、

300mm～6

mm，厚度通常为3mm。经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的金靶材。

3．2化学成分

金靶材IC-Au99．9