GB/T 29056-2025 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

ICS77040

CCSH.17

中华人民共和国国家标准

GB/T29056—2025

代替GB/T29056—2012

硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

Determinationofimpuritycontentintrichlorosilaneforsiliconepitaxy—

Inductivelycoupledplasmamassspectrometry

2025-10-31发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T29056—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼铝磷钒铬锰铁钴

GB/T29056—2012《、、、、、、、、

镍铜钼砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法与相比除结构调整和编

、、、》,GB/T29056—2012,

辑性改动外主要技术变化如下

,:

增加了锂钠等元素的测定更改了测定范围见第章年版的第章

a)、,(1,20121);

更改了方法原理见第章年版的第章

b)(4,20122);

增加了干扰因素见第章

c)(5);

增加了试验条件见第章

d)(6);

更改了试剂和材料见第章年版的第章

e)(7,20123);

更改了仪器设备见年版的第章

f)(8.1,20124);

增加了分析天平电加热板器皿等要求见

g)、、(8.2~8.8);

增加了样品采样的要求见第章

h)(9);

删除了分析步骤中的安全措施见年版的

i)(20125.1);

增加了仪器准备见

j)(10.1);

更改了试料平行试验标准溶液的配制和测定步骤见年版的

k)、、(10.2、10.3、10.5、10.7,2012

5.2、5.3、5.5、5.6);

更改了精密度要求见第章年版的第章

l)(11,20127);

删除了质量保证与控制见年版的第章

m)(20128);

更改了试验报告见第章年版的第章

n)(12,20129)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位洛阳中硅高科技有限公司江苏鑫华半导体科技股份有限公司四川永祥新能源

:、、

有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司亚洲硅业青海股份有限公司青海南玻新能源科技有限

、、()、

公司青海丽豪清能股份有限公司新疆新特新能材料检测中心有限公司湖北江瀚新材料股份有限

、、、

公司

。

本文件主要起草人万烨郭树虎刘见华曹俊英赵培芝吴作木宋丹王春明魏东亮李强

:、、、、、、、、、、

冉祎康俊勤甘俊汤艳

、、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2012,。

Ⅰ

GB/T29056—2025

硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

警示———使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验本文件并未指出所有可能的安全问

。

题使用者有责任采取适当的安全和健康措施并保证符合国家有关法规规定的条件

。,。

1范围

本文件描述了硅外延用三氯氢硅中锂硼钠镁铝钾钙磷钛钒铬锰铁钴镍铜锌镓

、、、、、、、、、、、、、、、、、、

钼砷铅等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法

、、。

本文件适用于硅外延用三氯氢硅中杂质元素含量的测定各元素测定范围见表

。1。

表1各元素测定范围

测定范围

元素

ng/g

锂

0.01~10

硼

0.01~10

钠

0.01~10

镁

0.01~10

铝

0.01~10

钾

0.01~10

钙

0.01~10

磷

0.01~10

钛

0.01~10

钒

0.005~10

铬

0.01~10

锰

0.01~10

铁

0.01~10

钴

0.005~10

镍

0.01~10

铜

0.01~10

锌

0.01~10

镓

0.01~10

钼

0.005~10

砷

0.01~10

铅

0.01~10

1