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GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法

GB/T 29056-2012 Trichlorosilane for silicon epitaxy—Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenum and antimony content—Inductively coupled plasma mass spectrometric method

国家标准 中文简体 现行 页数：9页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 29056-2012
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L90/94 电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类号（ICS）
31.030 电子技术专用材料
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用三氯氢硅（SiHCl3）中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等痕量元素含量的方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅（SiHCl3）中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量的测定。各元素测定范围见表1。

发布历史

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GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法-第1页
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法-第2页
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法-第3页

研制信息

起草单位：
南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心
起草人：
郑华荣、刘新军、龚磊荣、张莉萍、黄和明、陈逸君、虞磊
出版信息：
页数：9页 | 字数：13 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS31.030

L90

中华人民共和国国家标准

/—

GBT290562012

硅外延用三氯氢硅化学分析方法

、、、、、、、、、

硼铝磷钒铬锰铁钴镍

、、

铜钼砷和锑量的测定

电感耦合等离子体质谱法

—,,

TrichlorosilaneforsiliconeitaxDeterminationofboronaluminium

py

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hoshorusvanadiumchromemananeseironcobaltnickel

ppg

,,—

coerarsenicmolbdenumandantimoncontentInductivel

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couledlasmamasssectrometricmethod

ppp

2012-12-31发布2013-10-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT29056201

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