GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T 29056-2012 Trichlorosilane for silicon epitaxy—Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenum and antimony content—Inductively coupled plasma mass spectrometric method

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基本信息

标准号

GB/T 29056-2012

发布历史

2012年12月

GB/T 29056-2012　硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法

当前标准现行 2012-12-31

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GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法-第1页

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研制信息

起草单位：: 南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心

起草人：: 郑华荣、刘新军、龚磊荣、张莉萍、黄和明、陈逸君、虞磊

出版信息：: 页数：9页 | 字数：13 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS31.030

L90

中华人民共和国国家标准

/—

GBT290562012

硅外延用三氯氢硅化学分析方法

、、、、、、、、、

硼铝磷钒铬锰铁钴镍

、、

铜钼砷和锑量的测定

电感耦合等离子体质谱法

—,,

TrichlorosilaneforsiliconeitaxDeterminationofboronaluminium

,,,,,,,

hoshorusvanadiumchromemananeseironcobaltnickel

ppg

,,—

coerarsenicmolbdenumandantimoncontentInductivel

ppyyy

couledlasmamasssectrometricmethod

ppp

2012-12-31发布2013-10-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT29056201

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