GB/T 44687-2024 超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮

ICS2510070

CCSJ4.3.

中华人民共和国国家标准

GB/T44687—2024

超硬磨料制品

半导体晶圆精密磨削用砂轮

Superabrasiveproducts—Precisiongrindingwheelsforsemiconductorwafers

2024-09-29发布2025-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T44687—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

产品分类

4…………………1

晶圆边缘倒角精密磨削用砂轮以下简称为倒角砂轮

4.1(“”)………1

晶圆端面减薄精密磨削用砂轮以下简称为减薄砂轮

4.2(“”)………3

产品标记

5…………………12

倒角砂轮

5.1……………12

减薄砂轮

5.2……………12

技术要求

6…………………12

外观

6.1…………………12

基本尺寸极限偏差

6.2…………………13

几何公差

6.3……………15

基体粗糙度

6.4…………………………15

动平衡

6.5………………15

回转强度

6.6……………15

试验方法

7…………………15

外观

7.1…………………15

基本尺寸

7.2……………16

几何公差

7.3……………16

基体粗糙度

7.4…………………………17

动平衡

7.5………………17

回转强度

7.6……………17

检验规则

8…………………17

标志

9………………………17

产品标志

9.1……………17

合格证标志

9.2…………………………17

外包装标志

9.3…………………………17

包装运输和贮存

10、………………………18

包装

10.1………………18

运输

10.2………………18

贮存

10.3………………18

Ⅰ

GB/T44687—2024

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国机械工业联合会提出

。

本文件由全国磨料磨具标准化技术委员会归口

(SAC/TC139)。

本文件起草单位郑州磨料磨具磨削研究所有限公司江苏赛扬精工科技有限责任公司华侨大学

:、、、

北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司江苏三晶半导体材料有限公司青岛高测科技股份有限公

、、

司广东奔朗新材料股份有限公司

、。

本文件主要起草人包华赵延军陈卫东黄国钦刘一波邹余耀张秀涛陶洪亮谷春青韩欣

:、、、、、、、、、、

丁玉龙李国伟牛俊凯张良叶腾飞王礼华朱亮杨松彬尹玉龙

、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T44687—2024

超硬磨料制品

半导体晶圆精密磨削用砂轮

1范围

本文件规定了半导体晶圆精密磨削用砂轮的产品分类产品标记技术要求试验方法检验规则

、、、、、

标志包装运输和贮存

、、。

本文件适用于半导体晶圆边缘倒角精密磨削和端面减薄精密磨削用金属结合剂树脂结合剂和陶

、

瓷结合剂及其复合结合剂金刚石砂轮

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

产品几何技术规范线性尺寸公差代号体系第部分标准

GB/T1800.2—2020(GPS)ISO2:

公差带代号和孔轴的极限偏差表

、

磨具回转强度试验方法

GB/T2493

机械振动恒态刚性转子平衡品质要求第部分规范与平衡允差的检验

GB/T9239.1()1:

磨料磨具术语

GB/T16458

超硬磨料制品金刚石或立方氮化硼磨具形状总览和标记

GB/T35479

超硬磨料制品金刚石或立方氮化硼磨具技术规范

JB/T7425

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

GB/T16458。

4产品分类

41晶圆边缘倒角精密磨削用砂轮以下简称为倒角砂轮

.(“”)

411磨料层槽型

..

磨料层槽型及代号见表

。

1

1

GB/T44687—2024

表1磨料层槽型及代号

槽型代号形状示意图

圆弧底槽

R

梯形槽

T

图中尺寸代号说明

:

V槽开口角

———;

b梯形槽底宽度

———;

P槽间距

———;

P第道槽中心至砂轮基准面的距离

1———1。

槽数用n表示

其他尺寸代号的含义见

GB/T35479

412砂轮形状

..

砂轮形状及代号见表

2。

2

GB/T44687—2024

表2倒角砂轮形状及代号

代号形状示意图

1A1/R

1A1/T

14A1/R

14A1/T

图中尺寸代号的含义见

GB/T35479

413基本尺寸

..

砂轮基本尺寸见表

3。

表3倒角砂轮基本尺寸

单位为毫米

DTHJXU

103—

109

—

150304~6

202207014~19

PPARbVn由供需双方商定

1、、、、、、

42晶圆端面减薄精密磨削用砂轮以下简称为减薄砂轮

.(“”)

4216A2和6A2H型砂轮

..

和型砂轮以型为例其形状见图基本尺寸见表

6A26A2H,6A2H,1;4。

3

GB/T44687—2024

标引序号说明

:

d安装孔分布圆直径

———。

其余尺寸代号的含义见

GB/T35479。

图16A2H型砂轮

表46A2和6A2H型砂轮基本尺寸

单位为毫米

DTHWX

17535763~55

20036763~55

350451273~55

EK安装孔尺