T/ICMTIA SM006-2021 集成电路线宽65nm～14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
T/ICMTIA SM006-2021 300mm P/P-type silicon epitaxial wafers for logic processes with an integrated circuit linewidth of 65nm-14nm
团体标准
现行
页数：0页
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA SM006-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2021-05-31
实施日期
2021-07-30
发布单位/组织
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
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研制信息
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内容描述
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