JJG 661-2004 平面等倾干涉仪

中华人民共和国国家计量检定规程

—

JJG6612004

平面等倾干涉仪

FlatnessInterferometerwithIsoclinicCircleFrine

g

ㅤㅤㅤㅤ

2004-09-21发布2005-03-21实施

国家质量监督检验检疫总局发布

—

JJG6612004

平面等倾干涉仪检定规程췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍

췍—췍

췍췍JJG6612004췍췍

代替—1990

VerificationReulationofFlatnessJJG661

g췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍

InterferometerwithIsoclinicCircleFrine

g

,

本规程经国家质量监督检验检疫总局于年月日批准并自

20040921

年月日施行。

20050321

ㅤㅤㅤㅤ

—2004

JJG661

目录

范围……………………()

11

引用文献………………()

21

概述……………………()

31

计量性能要求…………()

41

测微目镜的示值误差极差及回程误差……………()

4.11

工作台移动的直线度………………()

4.22

工作台移动的示值误差及回程误差………………()

4.32

钢球支架的工作性能………………()

4.42

标准干涉环直径测量的标准偏差…………………()

4.52

干涉环小数干涉级测量的重复性…………………()

4.62

通用技术要求…………()

3

5

外观…………………()

5.13

各部分相互作用……………………()

5.23

计量器具控制…………()

63

检定条件……………()

6.13

检定项目……………()

6.2ㅤㅤㅤㅤ4

检定方法……………()

6.34

检定结果的处理……………………()

6.46

附录等倾干涉仪测量平面度测量结果的不确定度评定…………()

A7

附录检定证书和检定结果通知书内页格式………()

B10

—

JJG6612004

平面等倾干涉仪检定规程

1范围

、。

本规程适用于平面等倾干涉仪的首次检定后续检定和使用中的检验

2引用文献

—通用计量术语及定义

JJF10011998

—测量不确定度评定与表示

JJF10591999

—测量仪器特性评定

JJF10942002

,。

使用本规程时应注意使用上述引用文献的现行有效版本

3概述

,

平面等倾干涉仪是一种用于平面量值传递的标准计量器具主要用于检定尺寸较大

、。

的平晶各种尺寸的长平晶和标准平尺等的平面度

仪器工作原理如图所示。

1

ㅤㅤㅤㅤ

图工作原理图

1

—;—;—;—();—;—;—;

1平晶2球支承3平晶4半反射镜5测微鼓轮6观察者7目镜组

—;—;—();—;—;—

8分划板9成像物镜10半反光镜11聚光物镜12光阑13钠灯

4计量性能要求

4.1测微目镜的示值误差极差及回程误差

不大于表的规定。

1

1

—

JJG6612004

表测微目镜示值误差极差及回程误差

1

检定类别任意1mm内的示值误差全程8mm内的示值误差回程误差

首次检定

0.005mm0.010mm0.005mm

后续检定

4.2工作台移动的直线度

4.2.1在水平面内直线度在任意300mm内应不超过0.02mm;使用中和修理后的允许达

到0.04mm。

,

4.2.2工作台移动时的扭摆及旋转时的摆动在目镜内观察干涉环中心不得有目力可

见的偏移。

4.3工作台移动的示值误差及回程误差

不超过表的规定。

2

表2工作台移动的示值误差及回程误差

工作台纵向移动工作台纵向移动工作台纵向移动

检定类别在200mm内的示在300mm内的示在500mm内的示回程误差

值误差值误差值误差

首次检定±0.10mm±0.15mm±0.20mm0.10mm

ㅤㅤㅤㅤ

后续检定、

±0.15mm±0.20mm±0.25mm0.15mm

使用中检验

4.4钢球支架的工作性能

,

每个形成平行空气层的支架在放上相应的平晶或长平晶时在目镜视场内应有清晰

。,,

的干涉环图像当移动工作台时从一端至另一端其干涉环直径变化应不超过个干

1

涉级数。

,,

对于平晶支承架至少应有一个直径方向满足上述要求在另外两个直径方向允许

达到个干涉级数。

5

,,。

对于长平晶支架用转台回转时其干涉直径变化应不超过0.5个干涉级数

4.5标准干涉环直径测量的标准偏差

,

仪器应对每种支承间隙的支承架给出标准干涉环直径的值其三倍标准偏差应不超

过0.01mm。

4.6干涉环小数干涉级测量的重复性

根据干涉直径测量的结果按式()求出其干涉级数。

1

æDö2

ΔK=çi÷N()

i+i1

èDø

0

式中:———点的干涉级数;

ΔKii

Di———i点所测干涉环直径;

2

—

JJG6612004

———,;

D0标准干涉环直径当干涉环级数为整数时最里环的直径

———,,。

点被测干涉环的级序在级环内为正在级环外为负

Nii00

干涉环测量的重复性应小于0.025个干涉级数。

5通用技术要求

5.1外观

、、、。、

5.1.1仪器工作面不应有划痕碰伤斑点锈蚀非工作面不应有毛刺脱漆或镀

层脱落等外观缺陷。

、。

5.1.2仪器上应有制造厂名或厂标出厂编号及标志

5.1.3后续检定的仪器允许有不影响测量准确度的外观缺陷。

5.2各部分相互作用

,,。

5.2.1测微目镜的鼓轮转动应平稳无卡住和擦碰现象其移动范围应不小于8mm

,(

目镜调焦时应平稳可靠其视场内的干涉环数应不少于个整环包括透射照

5.2.23

),,、。

明在内且应无其他杂乱干涉花样不得有影响测量的灰尘污物及霉点等

,,

5.2.3通过目镜应容易地看清楚分划板上的十字刻线当移动分划板时其十字刻线

,。

的清晰程度不得有目力可见的变化十字刻线不得有明显的弯曲

,。

5.2.4工作台的纵向运动和回转运动应平稳无卡住和爬行现象纵向行程应大于

500mm。

ㅤㅤㅤㅤ

,。

5.2.5手轮的刻度盘应能平稳地调节且无卡住和松动现象

6计量器具控制

、。

包括首次检定后续检定和使用中检验

6.1检定条件

放置平面等倾干涉仪的仪器室温应为()。

6.1.120±5℃

,,小于;在内的变化量

6.1.2在检定4.54.6两项时室温在24h内的变化量应1℃1h

应小于0.1℃。

,,

检定平晶及长平晶时在室内放置时间应不少于