GB/T 38783-2020 贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测定方法

ICS77.120.99

H15

中华人民共和国国家标准

/—

GBT387832020

贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜

测定方法

Methodofcoatinthicknessdeterminationforreciousmetal

gp

comositesbscanninelectronmicroscoe

pygp

2020-06-02发布2021-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT387832020

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由中国有色金属工业协会提出。

(/)。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会SACTC243归口

:、()、

本标准起草单位贵研铂业股份有限公司贵研检测科技云南有限公司国合通用测试评价认证

、、、

股份有限公司广东省工业分析检测中心北京有色金属与稀土应用研究所南京市产品质量监督检验

、、()。

院郴州市场商品质量监督检验所国标北京检验认证有限公司

:、、、、、、、、、、、

本标准主要起草人毛端甘建壮陈雯陈国华左玉婷伍超群王峰高瑞峰张靖张卓佳刘坤鹏

、、、、、、、、。

王一晴赖丽君毕勤嵩金娅秋马媛夏雯张丽民齐岳峰张吉明

Ⅰ

/—

GBT387832020

贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜

测定方法

1范围

本标准规定了各类贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测量方法。

本标准适用于10nm~200m的覆层厚度测量。

μ

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/—金属显微组织检验方法

GBT132982015

/微米级长度的扫描电镜测量方法通则

GBT16594

/微束分析能谱法定量分析

GBT17359

/—金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法

GBT177221999

/纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

GBT20307

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

聚焦离子束;

focusedionbeamFIB

(),、。

将液态金属离子源产生的金属离子Ga离子通过离子枪加速聚焦后形成离子束流

3.2

双束电子显微镜dualbeamelectronmicroscoe

p

()()。

在扫描电子显微镜聚焦电子束中还安装了聚焦离子束FIB系统的显微镜

3.3

气体注入系统;

asinectionsstemGIS

gjy

在双束电子显微镜中集成的用于储存和释放各种类型金属或非金属气体化合物的硬件系统。

:,,

注可以通过电子束或离子束对注入气体进行诱导气相沉积在样品表面形成特定金属或非金属的保护层或图案

也可以使用电子束或离子束对其进行诱导刻蚀以达到增强刻蚀的目的。

3.4

共焦点beamscoincidence

,

在双束电子显微镜中电子束和离子束焦平面的交点在该高度位置上可同时实现离子束的精确加

工与电子束的清晰成像。

4方法提要

,,

根据样品的覆层厚度选择相应的覆层截面制备方法厚度处于10nm~2m选择FIB法厚度处

μ

1

/—

GBT387832020

()。

于1m~200m选择镶嵌法交叉范围两种方法均可采用然后将制备出的覆层截面用扫描电子显

μμ

,。

微镜对其进行直接观察和测量最后计算出覆层的平均厚度

5仪器设备

()。,

5.1扫描电子显微镜镶嵌法或双束电子显微镜根据样品覆层厚度情况选择适合的扫描电子显微

。/;/

镜或双束电子显微镜微米级覆层测量按照GBT16594执行纳米级覆层测量按照GBT20307

执行。

5.2离子溅射仪。

5.3金相显微镜。

5.4超声波清洗机。

5.5金相镶嵌机。

6试验方法

6.1镶嵌法

6.1.1取样

,。

将待测的贵金属复合型材或器件截取具有覆层的部分取样位置的覆层应具有完整性和代表性

6.1.2镶嵌前的准备

,。

将取下的复合材料样品用超声波清洗机清洗干净烘干备用如果覆层厚度在10m以下应将样

μ

,/—

品表面镀上厚度的镍或其他金属保护层镍镀层配方按照中附录的规定

10mGBT177221999A

μ

执行。

6.1.3镶嵌

,/—。

将复合材料样品进行镶嵌按照中执行

GBT177221999

6.1.4试样截面的研磨与抛光

/—,,。

按中第章将镶嵌试样取出研磨与抛光至符合金相样品要求

GBT1329820153

6.2FIB法

6.2.1取样

按照6.1.1执行。

6.2.2样品的安装

水平安装法

,。

将样品水平安装在平面样品台表面样品有覆层的一面朝上

预倾斜安装法

,,

将样品安装在具有两个斜面的倾斜样品台上两个斜面分别倾斜和倾斜样品应安装在倾