DB31/ 792-2014 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

DB31/ 792-2014 The energy consumption limit for individual products of silicon single crystal and its wafers

上海市地方标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
DB31/ 792-2014
标准类型
上海市地方标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2014-04-15
实施日期
2014-08-01
发布单位/组织
上海市质量技术监督局
归口单位
上海市有色金属标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了硅单晶和硅单晶片单位产品能源消耗(以下简称能耗)限额的要求、计算原则、计算范围、计算方法和节能管理与措施。
本标准适用于硅单晶,包括半导体级硅单晶、太阳能级硅单晶;硅单晶片,包括半导体器件用硅单晶片和光伏太阳能电池用硅单晶片(以下统称硅片)生产企业产品能耗的计算、考核以及对新建项目的能耗控制。

发布历史

文前页预览

研制信息

起草单位:
上海有色金属行业协会、上海市有色金属标准化技术委员会、上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海九晶电子材料股份有限公司、上海申和热磁电子有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海卡姆丹克太阳能科技有限公司
起草人:
张敏祥、唐宗平、谢江华、鲁臻、刘秋丽、袁美君、万国强、陶广平、刘勇、沈夏搏
出版信息:
页数:12页 | 字数:15 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS31200

L01.

备案号46441—2015

:

上海市地方标准

DB31/792—2014

硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

Normofenergyconsumptionperunitproductsfor

monocrystallinesiliconandsiliconwafers

2014-04-15发布2014-08-01实施

上海市质量技术监督局发布

DB31/792—2014

前言

本标准4.1和4.2是强制性的其余为推荐性的

,。

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准是按照单位产品能源消耗限额编制通则的要求和硅片的单位产品能源消耗

GB/T12723《》

实际情况进行编制的

本标准由上海有色金属行业协会和上海市有色金属标准化技术委员会建议由上海市发展和改革

,

委员会上海市经济和信息化委员会上海市质量技术监督局共同提出

、、。

本标准由上海市有色金属标准化技术委员会归口

本标准起草单位上海有色金属行业协会上海市有色金属标准化技术委员会上海合晶硅材料有

:、、

限公司上海晶盟硅材料有限公司上海九晶电子材料股份有限公司上海申和热磁电子有限公司上海

、、、、

新傲科技股份有限公司上海卡姆丹克太阳能科技有限公司

、。

本标准起草人张敏祥唐宗平谢江华鲁臻刘秋丽袁美君万国强陶广平刘勇沈夏搏

:、、、、、、、、、。

DB31/792—2014

硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

1范围

本标准规定了硅单晶和硅单晶片单位产品能源消耗以下简称能耗限额的要求计算原则计算范

()、、

围计算方法和节能管理与措施

、。

本标准适用于硅单晶包括半导体级硅单晶太阳能级硅单晶硅单晶片包括半导体器件用硅单晶

,、;,

片和光伏太阳能电池用硅单晶片以下统称硅片生产企业产品能耗的计算考核以及对新建项目的能

()、

耗控制

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

综合能耗计算通则

GB/T2589

企业能量平衡通则

GB/T3484

单位产品能源消耗限额编制通则

GB/T12723

用能单位能源计量器具配备和管理通则

GB17167

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

31

.

硅单晶monocrystallinesilicon

以多晶硅为原材料直拉法或区熔法从熔体中生长出的棒状硅单晶又称单晶硅并经

,(CZ)(FZ)(),

整形处理成硅单晶棒用于生产硅单晶片

32

.

硅片siliconwafers

用硅单晶加工成的圆形或方形八边形薄片其主要分为半导体硅圆片和太阳能硅片两类是制作

(),,

半导体器件和太阳能电池的基础材料又称硅单晶片

,。

33

.

硅外延片siliconepitaxialwafer

用外延工艺在硅单晶片上沿其原来的晶向再生长一层或多层硅单晶薄膜或在绝缘体上形成半导

,

体薄膜的深加工半导体硅片包括片绝缘体上的硅

,SOI()。

34

.

工序能源单耗unitenergyconsumptioninworkingprocedure

单一工序生产过程中生产单位合格产品直接消耗的全部能源量

35

.

硅单晶综合能源单耗unitconsumptionofintegrateenergymonocrystallinesilicon

报告期内企业生产的合格硅单晶产品所消耗的各种能源并折算成标准煤后的全部能源量为工序

,

1

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