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DB31/ 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

DB31/ 792-2020 The energy consumption limit for single crystal silicon and its wafers as products

上海市地方标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
DB31/ 792-2020
标准类型
上海市地方标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
F01 技术管理
国际标准分类号（ICS）
27.010 能源和热传导工程综合
发布日期
2020-03-05
实施日期
2020-06-01
发布单位/组织
上海市市场监督管理局
归口单位
上海市能源标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了硅单晶及硅单晶片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降耗导向。
本标准适用于半导体级硅单晶和硅单晶片，包括研磨片、抛光片、外延片（以下统称“硅片”）生产企业产品能源单耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。

发布历史

文前页预览

DB31/ 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额-第1页
DB31/ 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额-第2页
DB31/ 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额-第3页

研制信息

起草单位：
上海有色金属行业协会、上海市有色金属标准化技术委员会、上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海晶哲电子材料有限公司
起草人：
陈建纲、韩建超、高璇、马志辉、张向东、杨文杰、唐宗平
出版信息：
页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

内容描述

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