DB31/ 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额
DB31/ 792-2020 The energy consumption limit for single crystal silicon and its wafers as products
上海市地方标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
DB31/ 792-2020
标准类型
上海市地方标准
标准状态
现行
发布日期
2020-03-05
实施日期
2020-06-01
发布单位/组织
上海市市场监督管理局
归口单位
上海市能源标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了硅单晶及硅单晶片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降耗导向。
本标准适用于半导体级硅单晶和硅单晶片，包括研磨片、抛光片、外延片（以下统称“硅片”）生产企业产品能源单耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。
本标准适用于半导体级硅单晶和硅单晶片，包括研磨片、抛光片、外延片（以下统称“硅片”）生产企业产品能源单耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。
发布历史
-
2014年04月
-
2020年03月
研制信息
- 起草单位：
- 上海有色金属行业协会、上海市有色金属标准化技术委员会、上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海晶哲电子材料有限公司
- 起草人：
- 陈建纲、韩建超、高璇、马志辉、张向东、杨文杰、唐宗平
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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