基本信息
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2011-12-20
实施日期
2012-07-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了高纯砷的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输、贮存等。
本标准适用于以工业砷为原料,经升华、氯化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于99.999%、 99.9999%、99.99999%的高纯砷。产品主要用于制造砷化镓等ⅢⅤ族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。
本标准适用于以工业砷为原料,经升华、氯化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于99.999%、 99.9999%、99.99999%的高纯砷。产品主要用于制造砷化镓等ⅢⅤ族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。
发布历史
-
1992年03月
-
2011年12月
研制信息
- 起草单位:
- 峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司
- 起草人:
- 杨卫东、程高明、邹同贵、王飞、廖敏
- 出版信息:
- 页数:6页 | 字数:9 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS29.045
H81
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST432011
代替/—92
YST43
高纯砷
Hih-uritarsenic
gpy
ㅤㅤㅤㅤ
2011-12-20发布2012-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST432011
高纯砷
1范围
、、、、、、、。
本标准规定了高纯砷的分类和标记要求试验方法检验规则产品标识包装运输贮存等
,、、、
本标准适用于以工业砷为原料经升华氯化精馏氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于
、、。、
99.999%99.9999%99.99999%的高纯砷产品主要用于制造砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体外
延源以及半导体掺杂剂等。
2规范性引用文件
。,
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,()。
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
化学品安全技术说明书编写规定
GB16483
JT617汽车运输危险货物规则
/—高纯砷化学分析方法电感耦合等离子质谱法()测定高纯砷中杂质
YST34.12011ICP-MS
含量
/—高纯砷化学分析方法极谱法测定硒量
YST34.22011
/—ㅤㅤㅤㅤ
高纯砷化学分析方法极谱法测定硫量
YST34.32011
3要求
3.1分类和标记
、、,、、
产品按砷含量99.999%99.9999%99.99999%的不同分为三个牌号分别标记为As05As06
--
As07。
-
3.2化学成分
各牌号化学成分应符合表的规定。
1
表1高纯砷的化学成分
化学成分
As含量
牌号(-7),
%杂质含量×10%不大于
不小于NaMAlKCaCrFeNiCuZnSeSASbPbBi
gg
As
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