GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
GB/T 18682-2002 Specifications of physical vapour deposition TiN films
国家标准
中文简体
现行
页数：23页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 18682-2002
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2002-03-10
实施日期
2002-08-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
归口单位
全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2002年03月
研制信息
- 起草单位：
- 武汉材料保护研究所
- 起草人：
- 凌国伟、李健、倪瀚、黄济群、曲学基、纪晓春、秦襄培
- 出版信息：
- 页数：23页 | 字数：39 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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