GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

中华人民共和国国家标准

GB/T15909一1995

电子工业用气体硅烷((SiH4)

Gasforelectronicindustry-Silane

1主题内容与适用范围

本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全

要求等。

本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜

淀积等

分子式:SiH,

相对分子质量:32.117(按1991年国际相对原子质量)。

101.3kPa下的沸点:一112'C.

20'C和101.3kPa下气体密度:1.342kg/m',

一185C下液体密度:711kg/m'.

2引用标准

GB19。危险货物包装标志

(;B/T3051无机化工产品中氯化物含量测定的通用方法汞量法

GB/T5274气体分析校准用混和气体的制备称量法

(;B/T5832.1气体中微量水分的测定电解法

GB7144气瓶颜色标记

3技术要求

31质里指标

硅烷的质量应符合下表的要求。对硅烷中重金属和颗粒的要求由供方与用户商定。

项目指标

纯度:10。)99

一氧化碳和二氧化碳((一()+CO2),10-,(5

氛化物总量(包括抓硅烷,HC)等可离子化的抓化物),10-(100

烃(G-C,),10‘蕊40

氢(H)10“成9000

氮(N,).10“镇40

氧(()),10‘簇5

水(H,0),10‘成3

国家技术监督局1995门2一20批准1996一08一01实施

cs/T15909一1995

注:①表中纯度及杂质含量均以序尔分数表示mol/mol

②多晶硅或二氧化硅用途不规定氮含量。

3.2电性能规格

电阻率应大于100Sl"cm(N型)，电阻率的测定方式由供方与用户商定。

4检验方法

4.1纯度

硅烷的纯度用摩尔分数表示，按式((1)计算，对于多晶硅或二氧化硅用途，不计入X_s(氮含量)

X=100一(X,+X2+X,+X,+X,+X‘十X7)X10-4

式中X—硅烷纯度(摩尔分数),10-2;

X—一氧化碳和二氧化碳(C0+C02)含量(摩尔分数),10-`;

X2-氯化物总量(摩尔分数),10-1;

X—烃(CI-C3)含量(摩尔分数),10一“;

X,氢(H2)含量(摩尔分数),10-6;

X,—氮(N2)含量(摩尔分数),10-`;

X,-氧(02)含量(摩尔分数),10-s;

X7—水(H2O)含量(摩尔分数),10-so

一氧化碳和二氧化碳含量的测定

:.:.，

仪器与方法

采用带有热导检测器或氦离子化检验器的气相色谱仪，也可采用色质联用仪测定硅烷中的一氧化

碳和二氧化碳。

方法检测极限(摩尔分数):1X1。一。

4.2.2操作条件

色谱柱:内装P.W.Carbosphere，长约2.4m，内径约4mm不锈钢柱，或其他等效色谱柱。

载气:高纯氦，流量约30mL/min,

进样量:3-5mL,

检测器温度:250'C.

色谱柱程序升温曲线:

初始温度:110,C，保持时间:4.50min;

程序升温速率:5-C/min;

终到温度:160'C，保持时间:6.00min,

4.2.3标样:以氦气为底气，含一氧化碳和二氧化