GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中华人民共和国国家标准

／—

犌犅犜１５９０９２００９

代替／—

ＧＢＴ１５９０９１９９５

电子工业用气体硅烷（）

犛犻犎

４

—

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２００９１０３０发布２０１００５０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

／—

犌犅犜１５９０９２００９

前言

本标准代替／—《电子工业用气体硅烷》。

ＧＢＴ１５９０９１９９５

本标准与／—相比主要变化如下：

ＧＢＴ１５９０９１９９５

———修改规范性引用文件（／—的第章，本版的第章）；

ＧＢＴ１５９０９１９９５２２

———修改技术指标内容：增加一类产品纯度和杂质含量，用－表示氯化物总量（／—

ＣｌＧＢＴ１５９０９

的，本版的）；

１９９５３．１３．１

———修改电性能规格（／